| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.1 多晶硅行业发展现状 | 第12页 |
| 1.1.2 多晶硅行业存在的问题 | 第12-13页 |
| 1.2 多晶硅氯硅烷残液的产生及组成 | 第13-15页 |
| 1.2.1 改良西门子法工艺介绍 | 第13-14页 |
| 1.2.2 氯硅烷残液的产生及组成 | 第14-15页 |
| 1.2.3 氯硅烷残液的危害 | 第15页 |
| 1.3 氯硅烷残液回收处理研究进展 | 第15-19页 |
| 1.3.1 水解法 | 第15-17页 |
| 1.3.2 过滤法 | 第17页 |
| 1.3.3 燃烧法 | 第17-18页 |
| 1.3.4 精馏法 | 第18-19页 |
| 1.4 二氧化硅的制备方法 | 第19-21页 |
| 1.4.1 气相水解法 | 第19页 |
| 1.4.2 化学沉淀法 | 第19-20页 |
| 1.4.3 超重力沉淀法 | 第20-21页 |
| 1.4.4 溶胶-凝胶法 | 第21页 |
| 1.4.5 微乳液法 | 第21页 |
| 1.5 二氧化硅的应用 | 第21-23页 |
| 1.6 课题研究的意义内容及创新点 | 第23-26页 |
| 1.6.1 本课题研究的意义 | 第23-24页 |
| 1.6.2 课题研究的内容 | 第24-25页 |
| 1.6.3 研究的创新点 | 第25-26页 |
| 第2章 氯硅烷残液水解制备二氧化硅并回收盐酸的工艺研 | 第26-38页 |
| 2.1 实验内容 | 第26-29页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第26页 |
| 2.1.2 实验装置 | 第26-28页 |
| 2.1.3 产品的分析表征方法 | 第28-29页 |
| 2.1.4 实验步骤 | 第29页 |
| 2.2 实验结果与讨论 | 第29-32页 |
| 2.2.1 水解反应方式对二氧化硅粒径的影响 | 第29-30页 |
| 2.2.2 水解反应方式对富集盐酸的影响 | 第30-32页 |
| 2.3 水解产物产品定位研究 | 第32-34页 |
| 2.3.1 X射线衍射结果 | 第32-33页 |
| 2.3.2 红外检测结果 | 第33-34页 |
| 2.3.3 产物杂质成分分析 | 第34页 |
| 2.4 连续水解新工艺的建立 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 放大实验装置关键设备设计 | 第38-54页 |
| 3.1 连续循环水解反应器物料衡算 | 第38-39页 |
| 3.2 连续循环水解反应器热量衡算 | 第39-41页 |
| 3.3 连续循环水解反应器设计 | 第41-42页 |
| 3.3.1 水解塔的设计 | 第41-42页 |
| 3.3.2 中间收集槽的设计 | 第42页 |
| 3.4 雾化喷嘴的设计选型 | 第42-46页 |
| 3.4.1 喷嘴的雾化原理 | 第43页 |
| 3.4.2 喷嘴的类型 | 第43-46页 |
| 3.5 连续循环水解反应器结构与测试点分布 | 第46-49页 |
| 3.5.1 水解塔的结构 | 第46-48页 |
| 3.5.2 中间收集槽的结构 | 第48-49页 |
| 3.6 配套设施设计与选型 | 第49-52页 |
| 3.6.1 固液分离设备设计与选型 | 第49-50页 |
| 3.6.2 换热器设计与选型 | 第50-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 放大实验装置性能测试及工艺参数优化 | 第54-70页 |
| 4.1 实验内容 | 第54-55页 |
| 4.1.1 实验材料 | 第54页 |
| 4.1.2 实验辅助设备及资源 | 第54页 |
| 4.1.3 实验目的及方案 | 第54-55页 |
| 4.1.4 实验工艺原理及技术要求 | 第55页 |
| 4.2 实验方法及步骤 | 第55-57页 |
| 4.3 分析表征方法 | 第57-58页 |
| 4.4 结果与讨论 | 第58-61页 |
| 4.4.1 空塔气速与压降的关系 | 第58页 |
| 4.4.2 残液流量与压降的关系 | 第58-59页 |
| 4.4.3 残液流量对水解体系温度的影响 | 第59-60页 |
| 4.4.4 喷嘴氮气流量对水解效率的影响 | 第60-61页 |
| 4.5 中试产品性能测试分析 | 第61-68页 |
| 4.5.1 产品的物相结构分析 | 第61-62页 |
| 4.5.2 产品的结构分析 | 第62-63页 |
| 4.5.3 产品的形貌结构分析 | 第63-64页 |
| 4.5.4 循环盐酸浓度对产品粒径的影响 | 第64-66页 |
| 4.5.5 产品的热稳定性分析 | 第66-67页 |
| 4.5.6 产品的杂质成分分析 | 第67页 |
| 4.5.7 产品的残酸值分析 | 第67-68页 |
| 4.6 小结 | 第68-70页 |
| 第5章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 结论 | 第70-71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第78-79页 |