| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 成像激光雷达的发展 | 第8-13页 |
| 1.3 MEMS 技术的发展 | 第13-14页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 MEMS 三维激光视觉系统关键问题研究 | 第16-34页 |
| 2.1 MEMS 三维激光视觉系统总体设计 | 第16-20页 |
| 2.1.1 总体设计方案 | 第16-17页 |
| 2.1.2 激光视觉系统探测方法 | 第17-20页 |
| 2.1.3 激光视觉系统探测器选取 | 第20页 |
| 2.2 MEMS 二维扫描技术 | 第20-25页 |
| 2.2.1 MEMS 振镜扫描原理 | 第21页 |
| 2.2.2 MEMS 振镜扫描轨迹研究 | 第21-23页 |
| 2.2.3 X-Y 检流计式振镜扫描原理与仿真研究 | 第23-25页 |
| 2.3 脉冲回波到达时刻与时间间隔测量 | 第25-31页 |
| 2.3.1 脉冲飞行时间测距方法 | 第25-26页 |
| 2.3.2 恒比定时时刻鉴别方法 | 第26-29页 |
| 2.3.3 时间间隔测量方法 | 第29-31页 |
| 2.4 目标光学特性 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 MEMS 大视场扫描光学系统设计与实验 | 第34-51页 |
| 3.1 MEMS 振镜扫描特性参数实验研究 | 第34-37页 |
| 3.1.1 驱动频率和 MEMS 振镜扫描角度的关系 | 第34-36页 |
| 3.1.2 驱动电压和 MEMS 振镜扫描角度的关系 | 第36-37页 |
| 3.2 MEMS 振镜扫描轨迹特性研究 | 第37-44页 |
| 3.2.1 MEMS 振镜扫描轨迹 MATLAB 仿真 | 第37-42页 |
| 3.2.2 MEMS 振镜扫描轨迹实验研究 | 第42-44页 |
| 3.3 MEMS 大视场扫描光学系统设计与实现 | 第44-50页 |
| 3.3.1 折叠扫描光学系统设计 | 第45-46页 |
| 3.3.2 设计方案的理论计算 | 第46-48页 |
| 3.3.3 MEMS 大视场扫描实验 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 MEMS 扫描激光脉冲测距实验研究 | 第51-57页 |
| 4.1 测距实验 | 第51-54页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第51-52页 |
| 4.1.2 主要实验装置 | 第52-53页 |
| 4.1.3 脉冲激光器性能指标测试 | 第53-54页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第54-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
