| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12页 |
| 1.2 无铅压电材料 | 第12-14页 |
| 1.2.1 无铅压电陶瓷材料的研究现状 | 第13页 |
| 1.2.2 钙钛矿型的无铅陶瓷压电材料 | 第13-14页 |
| 1.3 (K, Na)NbO_3基无铅压电薄膜 | 第14-18页 |
| 1.3.1 (K, Na)NbO_3的晶体结构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 KNbO_3 - NaNbO_3的相图 | 第15页 |
| 1.3.3 (K, Na)NbO_3薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| 1.4 (K, Na)NbO_3无铅压电薄膜的研究进展 | 第18-23页 |
| 1.4.1 (K, Na)NbO_3薄膜制备工艺的优化 | 第18-19页 |
| 1.4.2 (K, Na)NbO_3薄膜的掺杂改性研究 | 第19-21页 |
| 1.4.3 (K, Na)NbO_3薄膜的缓冲层研究 | 第21-23页 |
| 1.5 研究目标及内容 | 第23-25页 |
| 1.5.1 研究目标 | 第23页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第23-24页 |
| 1.5.3 技术路线 | 第24-25页 |
| 第二章 (K, Na)NbO_3无铅压电薄膜的制备与表征 | 第25-32页 |
| 2.1 溶胶凝胶法制备(K, Na)NbO_3薄膜需要的原料和仪器 | 第25-26页 |
| 2.1.1 实验所用的原料 | 第25-26页 |
| 2.1.2 实验所用的仪器 | 第26页 |
| 2.2 溶胶凝胶法制备(K, Na)NbO_3薄膜的实验过程 | 第26-29页 |
| 2.2.1 (K, Na)NbO_3前驱体的制备 | 第27-28页 |
| 2.2.2 衬底的准备 | 第28页 |
| 2.2.3 (K, Na)NbO_3薄膜的旋涂及热处理工艺 | 第28-29页 |
| 2.3 (K, Na)NbO_3薄膜的表征与测试 | 第29-32页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第30页 |
| 2.3.2 场发射扫描电镜分析 | 第30页 |
| 2.3.3 热重-差示扫描量热分析 | 第30页 |
| 2.3.4 铁电性能测试 | 第30-31页 |
| 2.3.5 介电性能测试 | 第31-32页 |
| 第三章 (K, Na)NbO_3压电薄膜的热处理工艺探究 | 第32-45页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 热裂解温度对(K, Na)NbO_3薄膜的影响 | 第32-38页 |
| 3.2.1 实验过程 | 第32-33页 |
| 3.2.2 (K, Na)NbO_3前驱体溶胶的热重分析 | 第33-34页 |
| 3.2.3 热裂解温度对(K, Na)NbO_3薄膜结构和形貌的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.4 热裂解温度对(K, Na)NbO_3薄膜性能的影响 | 第36-38页 |
| 3.3 退火温度对(K, Na)NbO_3薄膜的影响 | 第38-43页 |
| 3.3.1 实验过程 | 第38-39页 |
| 3.3.2 退火温度对(K, Na)NbO_3薄膜结构和形貌的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3 退火温度对(K, Na)NbO_3薄膜性能的影响 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 离子掺杂对(K, Na)NbO_3压电薄膜的影响 | 第45-57页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 Li离子掺杂对(K, Na)NbO_3薄膜的影响 | 第45-50页 |
| 4.2.1 实验过程 | 第45-46页 |
| 4.2.2 Li离子掺杂对(K, Na)NbO_3薄膜结构及形貌的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.3 Li离子掺杂对(K, Na)NbO_3薄膜性能的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 Mn离子掺杂对(K, Na, Li)NbO_3薄膜的影响 | 第50-56页 |
| 4.3.1 实验过程 | 第51页 |
| 4.3.2 Mn离子掺杂对(K, Na, Li)NbO_3薄膜结构及形貌的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.3 Mn离子掺杂对(K, Na, Li)NbO_3薄膜性能的影响 | 第53-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 缓冲层对(K, Na)NbO_3压电薄膜的影响 | 第57-69页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 Nb2O5缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜的影响 | 第57-62页 |
| 5.2.1 实验过程 | 第57-58页 |
| 5.2.2 Nb2O5缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜结构及形貌的影响 | 第58-59页 |
| 5.2.3 Nb2O5缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜性能的影响 | 第59-62页 |
| 5.3 STO缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜的影响 | 第62-67页 |
| 5.3.1 实验过程 | 第62-63页 |
| 5.3.2 STO缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜结构及形貌的影响 | 第63-65页 |
| 5.3.3 STO缓冲层对(K, Na)NbO_3薄膜性能的影响 | 第65-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 全文总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表(录用)论文情况 | 第80页 |
