| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 晶硅太阳能电池概述 | 第14-20页 |
| 1.1.1 太阳能电池基本原理 | 第15-16页 |
| 1.1.2 太阳能电池结构 | 第16-18页 |
| 1.1.3 太阳能电池性能参数 | 第18-20页 |
| 1.2 掺杂方法介绍 | 第20-25页 |
| 1.2.1 热扩散 | 第20-23页 |
| 1.2.2 离子注入 | 第23-25页 |
| 1.3 课题研究内容及目标 | 第25-26页 |
| 1.3.1 课题研究内容 | 第25页 |
| 1.3.2 研究目标 | 第25-26页 |
| 第二章 材料制备、结构和性能表征技术 | 第26-35页 |
| 2.1 主要实验设备及原料 | 第26-27页 |
| 2.1.1 主要实验设备 | 第26页 |
| 2.1.2 实验原料 | 第26-27页 |
| 2.2 制备方法 | 第27-30页 |
| 2.2.1 硅片衬底处理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 SiO_2纳米球制备 | 第28页 |
| 2.2.3 硼和磷的扩散研究 | 第28-30页 |
| 2.3 性能表征仪器及方法 | 第30-35页 |
| 2.3.1 四探针电阻率/方阻测试仪 | 第31-32页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜 | 第32-33页 |
| 2.3.4 少数载流子寿命测试仪 | 第33页 |
| 2.3.5 紫外可见分光光度仪 | 第33-35页 |
| 第三章 硼酸源扩散制备p~+层的性能研究 | 第35-48页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 SiO_2纳米球对硼酸源扩散的影响 | 第36-42页 |
| 3.2.1 SiO_2纳米球大小对扩散性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.2 实验不同阶段衬底表面成分分析 | 第37-38页 |
| 3.2.3 扩散后SiO_2纳米球形貌 | 第38页 |
| 3.2.4 SiO_2纳米球对扩散方阻的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.5 SiO_2纳米球对BRL生成情况的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.6 SiO_2纳米球对扩散结深的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.7 SiO_2纳米球对少数载流子寿命的影响 | 第41-42页 |
| 3.3 硼酸浓度对扩散性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.4 扩散温度对扩散性能的影响 | 第43-45页 |
| 3.4.1 温度对扩散方块电阻的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.2 温度对扩散结深的影响 | 第44-45页 |
| 3.5 扩散时间对扩散性能的影响 | 第45-46页 |
| 3.5.1 时间对扩散方块电阻的影响 | 第45页 |
| 3.5.2 时间对扩散结深的影响 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 硼纸源扩散制备p~+层的性能研究 | 第48-57页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 硼纸与衬底距离对扩散性能的影响 | 第48-50页 |
| 4.2.1 距离对方块电阻的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.2 距离对扩散结深的影响 | 第49-50页 |
| 4.3 扩散温度对扩散性能影响 | 第50-52页 |
| 4.3.1 温度对方块电阻的影响 | 第50页 |
| 4.3.2 温度对扩散结深的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.3 温度对BRL的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.4 温度对少数载流子寿命的影响 | 第52页 |
| 4.4 扩散时间对扩散性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.4.1 时间对方块电阻的影响 | 第53页 |
| 4.4.2 时间对扩散结深的影响 | 第53-54页 |
| 4.4.3 时间对BRL的影响 | 第54页 |
| 4.4.4 时间对少数载流子寿命的影响 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 磷酸源扩散制备n~+层的性能研究 | 第57-68页 |
| 5.1 引言 | 第57-58页 |
| 5.2 磷酸浓度对扩散性能的影响 | 第58-59页 |
| 5.3 SiO_2纳米球对扩散性能的影响 | 第59-63页 |
| 5.3.1 SiO_2纳米球大小对扩散性能的影响 | 第59-60页 |
| 5.3.2 SiO_2纳米球对方块电阻的影响 | 第60页 |
| 5.3.3 扩散后表面重掺杂层厚度研究 | 第60-61页 |
| 5.3.4 SiO_2纳米球对扩散结深的影响 | 第61-62页 |
| 5.3.5 SiO_2纳米球少数载流子寿命的影响 | 第62-63页 |
| 5.4 扩散温度对磷扩散性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.4.1 温度对方块电阻的影响 | 第63-64页 |
| 5.4.2 温度扩散结深的影响 | 第64-65页 |
| 5.5 扩散时间对磷扩散性能的影响 | 第65-66页 |
| 5.5.1 时间对方块电阻的影响 | 第65-66页 |
| 5.5.2 时间对扩散结深影响 | 第66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78页 |