| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第7-9页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第9-13页 |
| 1.3 主要研究内容和论文结构 | 第13-14页 |
| 第二章 延迟线基本原理 | 第14-20页 |
| 2.1 常见延迟线及其特点 | 第14-16页 |
| 2.1.1 同轴电缆延迟线 | 第14页 |
| 2.1.2 高温超导微波延迟线 | 第14-15页 |
| 2.1.3 光延迟线 | 第15-16页 |
| 2.1.4 声体波延迟线 | 第16页 |
| 2.2 延迟线实现机制的选择 | 第16-19页 |
| 2.2.1 声表面波延迟线的优点 | 第16-17页 |
| 2.2.2 声表面波延迟线原理 | 第17-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 声表面波延迟线结构 | 第20-60页 |
| 3.1 压电材料的选择 | 第20-21页 |
| 3.2 AlN压电薄膜声表面波特性 | 第21-26页 |
| 3.2.1 AlN压电薄膜的介电常数与压电常数 | 第24-25页 |
| 3.2.2 AlN压电薄膜的机电耦合系数 | 第25-26页 |
| 3.3 声表面波延迟线结构 | 第26-27页 |
| 3.4 声表面波延迟线工作原理 | 第27页 |
| 3.5 声表面波延迟线IDT理论模型 | 第27-40页 |
| 3.5.1 δ函数模型 | 第28-30页 |
| 3.5.2 等效电路模型 | 第30-37页 |
| 3.5.3 脉冲响应模型 | 第37-40页 |
| 3.6 加权叉指换能器设计 | 第40-41页 |
| 3.7 声表面波延迟线时延特性分析 | 第41-48页 |
| 3.8 声表面波延迟线基本结构参数设计 | 第48-55页 |
| 3.8.1 指条宽度a和指条间隙b | 第48-50页 |
| 3.8.2 叉指指条对数Np | 第50-53页 |
| 3.8.3 孔径宽度W | 第53-54页 |
| 3.8.4 中心间距L与标称延迟时间τ | 第54页 |
| 3.8.5 氮化铝(AlN)膜厚 | 第54页 |
| 3.8.6 金属膜厚 | 第54-55页 |
| 3.9 多条耦合器设计 | 第55-59页 |
| 3.10 本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 声表面波延迟线设计 | 第60-78页 |
| 4.1 椭圆型叉指换能器 | 第60-67页 |
| 4.1.1 改进的δ函数模型 | 第60-63页 |
| 4.1.2 椭圆型换能器结构 | 第63-67页 |
| 4.2 椭圆型换能器声表面波延迟线 | 第67-70页 |
| 4.2.1 椭圆型换能器声表面波延迟线的结构及设计参数 | 第67-68页 |
| 4.2.2 椭圆型换能器声表面波延迟线的建模与幅频响应 | 第68-69页 |
| 4.2.3 椭圆型换能器声表面波延迟线的相位与延时特性 | 第69-70页 |
| 4.3 倒相换能器的声表面波延迟线 | 第70-76页 |
| 4.3.1 倒相换能器声表面波延迟线的结构及设计参数 | 第71-73页 |
| 4.3.2 倒相换能器声表面波延迟线的建模与幅频响应 | 第73-75页 |
| 4.3.3 倒相换能器声表面波延迟线的相位与延时特性 | 第75-76页 |
| 4.4 三次渡越抑制 | 第76-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 本文研究工作总结 | 第78-79页 |
| 5.2 后续研究工作展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果及项目参与 | 第86-87页 |
