基于AlGaN和石墨烯的紫外—红外双色探测器的制备研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光电探测器的研究发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.1 Ⅲ族氮化物紫外探测器的研究发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 石墨烯探测器的研究进展 | 第11页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 材料介绍及紫外探测器设计 | 第13-34页 |
| 2.1 石墨烯基本结构与性质 | 第13-17页 |
| 2.1.1 石墨烯的基本结构 | 第13-14页 |
| 2.1.2 石墨烯的特殊性质 | 第14-17页 |
| 2.2 石墨烯的制备、转移及表征 | 第17-26页 |
| 2.2.1 石墨烯的制备方法 | 第17-20页 |
| 2.2.2 石墨烯的转移方法 | 第20-21页 |
| 2.2.3 石墨烯的表征方法 | 第21-25页 |
| 2.2.4 石墨烯的应用 | 第25-26页 |
| 2.3 MSM结构紫外探测器的设计 | 第26-33页 |
| 2.3.1 金属表面等离子体光栅耦合 | 第26-29页 |
| 2.3.2 偏压依赖关系及频率响应 | 第29-30页 |
| 2.3.3 低温特性 | 第30-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 铝镓氮－石墨烯双色探测器的设计与加工 | 第34-43页 |
| 3.1 掩膜版设计 | 第34-35页 |
| 3.2 双色探测器加工前准备 | 第35-36页 |
| 3.3 紫外探测器的制备 | 第36-39页 |
| 3.4 红外探测器的制备 | 第39-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 双色探测器的测试与分析 | 第43-48页 |
| 4.1 紫外探测器的电学测试及分析 | 第43-45页 |
| 4.1.1 Al Ga N紫外光谱分析 | 第43-44页 |
| 4.1.2 测试结果与分析 | 第44-45页 |
| 4.2 红外探测器的电学测试及分析 | 第45-46页 |
| 4.2.1 石墨烯红外光谱测试 | 第45-46页 |
| 4.2.2 测试结果分析 | 第46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 读硕士期间发表论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
