| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 缩略词表 | 第11-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-32页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 声波传感器概述 | 第17-25页 |
| 1.2.1 传感器的种类及工作原理 | 第17页 |
| 1.2.2 压电式声波器件 | 第17-18页 |
| 1.2.3 声表面波(SAW)器件 | 第18-21页 |
| 1.2.4 薄膜体声波谐振器(FBAR) | 第21-25页 |
| 1.3 柔性电子的发展与其在商频应用领域面临的挑战 | 第25-28页 |
| 1.3.1 柔性电子学的发展 | 第25-27页 |
| 1.3.2 柔性电子在高频应用领域面临的挑战 | 第27-28页 |
| 1.4 论文研究的意义和章节安排 | 第28-32页 |
| 1.4.1 论文的研究意义 | 第28-29页 |
| 1.4.2 论文章节安排 | 第29-32页 |
| 第2章 固体中声波传输特性理论 | 第32-48页 |
| 2.1 振动与波 | 第32-33页 |
| 2.2 弹性理论简介 | 第33-40页 |
| 2.2.1 弹性张量 | 第33-38页 |
| 2.2.2 压电效应 | 第38-40页 |
| 2.3 晶体中的波 | 第40-43页 |
| 2.3.1 晶体中的波方程 | 第40页 |
| 2.3.2 纵波和横波 | 第40-43页 |
| 2.4 固体表面声波 | 第43-48页 |
| 2.4.1 瑞利波 | 第43-44页 |
| 2.4.2 兰姆波 | 第44-46页 |
| 2.4.3 其它叠状结构中的表面波 | 第46-48页 |
| 第3章 SAW器件的设计及ZnO薄膜制备 | 第48-70页 |
| 3.1 声表面波器件的设计 | 第48-59页 |
| 3.1.1 叉指换能器(IDTs)的基本工作原理 | 第48-51页 |
| 3.1.2 SAW器件结构参数 | 第51-54页 |
| 3.1.3 SAW器件制备工艺 | 第54-59页 |
| 3.2 ZnO薄膜的制备 | 第59-67页 |
| 3.2.1 ZnO晶体 | 第59页 |
| 3.2.2 磁控溅射制备ZnO薄膜的工艺流程 | 第59-61页 |
| 3.2.3 柔性基板上ZnO薄膜的特性 | 第61-67页 |
| 3.3 本章小结 | 第67-70页 |
| 第4章 柔性薄膜SAW器件的表征 | 第70-90页 |
| 4.1 PI上柔性SAW器件 | 第70-78页 |
| 4.1.1 PI上柔性SAW器件及其特性分析 | 第70-74页 |
| 4.1.2 器件波长和ZnO厚度对器件性能的影响 | 第74-76页 |
| 4.1.3 IDT间距对器件性能的影响 | 第76-78页 |
| 4.2 ZnO/PI上SAW器件的弯曲特性 | 第78-80页 |
| 4.3 基于PET衬底的柔性SAW器件 | 第80-81页 |
| 4.4 柔性SAW器件模态分析 | 第81-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 柔性SAW器件的传感应用研究 | 第90-116页 |
| 5.1 SAW器件传感原理介绍 | 第90-91页 |
| 5.2 柔性SAW器件的温度传感应用 | 第91-95页 |
| 5.3 柔性SAW器件的湿度传感应用 | 第95-102页 |
| 5.3.1 湿度传感原理和实验装置 | 第95-97页 |
| 5.3.2 结果与讨论 | 第97-102页 |
| 5.4 柔性SAW器件的紫外传感应用 | 第102-109页 |
| 5.4.1 紫外传感原理与实验装置 | 第102-104页 |
| 5.4.2 结果与讨论 | 第104-109页 |
| 5.5 柔性SAW器件的应变传感应用 | 第109-113页 |
| 5.6 本章小结 | 第113-116页 |
| 第6章 基于FBAR的双模态传感器研究 | 第116-136页 |
| 6.1 FBAR的基本工作原理 | 第116-120页 |
| 6.2 FBAR的制备工艺 | 第120-124页 |
| 6.3 FBAR仿真结果与实测结果的对比 | 第124-127页 |
| 6.4 基于双模态FBAR的温度和压力传感器 | 第127-133页 |
| 6.4.1 原理和实验装置 | 第127-129页 |
| 6.4.2 双模态FBAR温度传感器 | 第129-130页 |
| 6.4.3 双模态FBAR压强传感器 | 第130-133页 |
| 6.5 本章小结 | 第133-136页 |
| 第7章 总结与展望 | 第136-140页 |
| 7.1 论文主要内容 | 第136-137页 |
| 7.2 论文主要创新点 | 第137页 |
| 7.3 论文的不足之处和将来的工作 | 第137-140页 |
| 参考文献 | 第140-154页 |
| 作者简介及在校期间取得的科研成果 | 第154-156页 |