激光微纳加工装置中控制软件的设计与实现
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 项目背景 | 第9-12页 |
| 1.2 工作内容 | 第12-13页 |
| 1.3 工作意义 | 第13页 |
| 1.4 本文组织安排 | 第13-15页 |
| 第二章 激光微纳加工装置简介 | 第15-25页 |
| 2.1 激光微纳加工装置的组成 | 第15-18页 |
| 2.1.1 装置总体介绍 | 第15-16页 |
| 2.1.2 曝光流程和组成部件 | 第16-18页 |
| 2.2 运动控制系统介绍 | 第18-21页 |
| 2.2.1 运动控制系统 | 第18-19页 |
| 2.2.2 运动控制卡 | 第19页 |
| 2.2.3 运动控制卡的二次开发 | 第19-21页 |
| 2.3 数字微反射镜器件（DMD） | 第21-24页 |
| 2.3.1 DMD机械结构 | 第21-22页 |
| 2.3.2 DMD工作原理 | 第22-23页 |
| 2.3.3 DMD的分类 | 第23-24页 |
| 2.3.4 DMD图形的存储与更新 | 第24页 |
| 2.4 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 控制软件的总体设计 | 第25-38页 |
| 3.1 设计原则和目标 | 第25-28页 |
| 3.1.1 设计原则 | 第25-26页 |
| 3.1.2 设计目标 | 第26-28页 |
| 3.2 控制软件的结构 | 第28-30页 |
| 3.2.1 软件系统结构 | 第28页 |
| 3.2.2 面向对象的设计思路 | 第28-30页 |
| 3.3 功能模块设计 | 第30-32页 |
| 3.3.1 功能模块划分 | 第30-31页 |
| 3.3.2 参数设置模块 | 第31-32页 |
| 3.3.3 系统初始化模块 | 第32页 |
| 3.3.4 运动控制模块 | 第32页 |
| 3.3.5 光刻控制模块 | 第32页 |
| 3.4 主要数据结构的设计 | 第32-36页 |
| 3.4.1 配置文件的格式 | 第32-33页 |
| 3.4.2 图像数据文件的格式 | 第33-34页 |
| 3.4.3 位置数据文件的格式 | 第34-36页 |
| 3.6 控制软件的开发环境和配置 | 第36-37页 |
| 3.6.1 开发环境 | 第36页 |
| 3.6.2 环境配置过程 | 第36-37页 |
| 3.7 小结 | 第37-38页 |
| 第四章 控制软件的详细设计和实现 | 第38-59页 |
| 4.1 主要类的设计 | 第38-42页 |
| 4.1.1 运动控制类 | 第38-40页 |
| 4.1.2 DMD类 | 第40-41页 |
| 4.1.3 任务类 | 第41-42页 |
| 4.2 运动控制模块的实现 | 第42-45页 |
| 4.2.1 主要方法的定义 | 第42-43页 |
| 4.2.2 轴回零方法的实现 | 第43-45页 |
| 4.3 系统初始化模块的实现 | 第45-48页 |
| 4.3.1 初始化的步骤 | 第45页 |
| 4.3.2 初始化模块的实现 | 第45-48页 |
| 4.4 光刻控制模块的实现 | 第48-55页 |
| 4.4.1 光刻任务的创建 | 第49-50页 |
| 4.4.2 光刻任务的执行 | 第50-55页 |
| 4.5 图形数据上载与刷新 | 第55-58页 |
| 4.5.1 图形数据上载与刷新的方式 | 第55-56页 |
| 4.5.2 图形数据上载与刷新的实现 | 第56-58页 |
| 4.6 小结 | 第58-59页 |
| 第五章 控制软件的演示 | 第59-72页 |
| 5.1 主界面 | 第59-60页 |
| 5.2 配置参数设置 | 第60-61页 |
| 5.3 系统初始化 | 第61-63页 |
| 5.4 光刻任务创建和执行 | 第63-72页 |
| 5.4.1 光刻任务的参数设置 | 第63-67页 |
| 5.4.2 单个任务的创建 | 第67页 |
| 5.4.3 多个任务的创建 | 第67-68页 |
| 5.4.4 任务的执行 | 第68-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 工作总结 | 第72页 |
| 6.2 展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
