| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 微/纳操作机理研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微/纳米控制技术研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 纳米操作机理分析与建模 | 第15-27页 |
| 2.1 纳米环境操作机理分析 | 第15-18页 |
| 2.1.1 粘着力机理分析 | 第15-16页 |
| 2.1.2 弹性接触机理分析 | 第16-18页 |
| 2.2 纳米操作机理建模 | 第18-21页 |
| 2.2.1 探针和纳米线力学模型 | 第19-20页 |
| 2.2.2 探针和基底模型建立 | 第20-21页 |
| 2.2.3 纳米线和基底模型建立 | 第21页 |
| 2.3 纳米线力学行为建模 | 第21-26页 |
| 2.3.1 纳米线旋转 | 第21-23页 |
| 2.3.2 纳米线弯曲 | 第23-25页 |
| 2.3.3 探针路径规划 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 纳米线推动过程分子动力学模拟仿真 | 第27-39页 |
| 3.1 分子动力学方法基本原理 | 第27-29页 |
| 3.1.1 牛顿运动方程 | 第28页 |
| 3.1.2 分子动力学算法 | 第28-29页 |
| 3.2 分子动力学模拟 | 第29-34页 |
| 3.2.1 模型建立 | 第30页 |
| 3.2.2 势函数的选取 | 第30-34页 |
| 3.3 模拟细节 | 第34-36页 |
| 3.4 分子动力学仿真结果分析 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 纳米操作系统的闭环控制 | 第39-56页 |
| 4.1 纳米操作定位系统建模 | 第39-42页 |
| 4.1.1 压电陶瓷驱动纳米定位系统 | 第39-40页 |
| 4.1.2 压电陶瓷驱动纳米定位系统建模 | 第40-42页 |
| 4.2 PID 控制算法 | 第42-46页 |
| 4.2.1 常规 PID 控制原理 | 第42-43页 |
| 4.2.2 数字 PID 控制 | 第43-44页 |
| 4.2.3 PID 参数整定方法 | 第44-46页 |
| 4.3 BP 神经网络 | 第46-48页 |
| 4.3.1 BP 神经网络结构 | 第46-47页 |
| 4.3.2 BP 神经网络算法原理 | 第47-48页 |
| 4.4 BP 神经网络 PID 控制器设计 | 第48-51页 |
| 4.4.1 BP 神经网络的前向算法 | 第48-50页 |
| 4.4.2 BP 神经网络的前向算法 | 第50-51页 |
| 4.5 BP 神经网络 PID 控制系统 Matlab 仿真 | 第51-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和获得的专利 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |