| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-37页 |
| 1.1 飞秒激光烧蚀 | 第11-17页 |
| 1.1.1 飞秒激光简介 | 第11-12页 |
| 1.1.2 飞秒激光烧蚀以及烧蚀过程简介 | 第12-14页 |
| 1.1.3 飞秒激光对不同材料的烧蚀机制 | 第14-16页 |
| 1.1.4 飞秒激光的应用及发展方向 | 第16-17页 |
| 1.2 飞秒激光脉冲整形技术 | 第17-27页 |
| 1.2.1 飞秒脉冲整形技术及原理介绍 | 第17-19页 |
| 1.2.2 整形脉冲的测量方法 | 第19-25页 |
| 1.2.3 整形脉冲在烧蚀过程中的应用 | 第25-27页 |
| 1.3 各种实验参量对飞秒激光烧蚀的影响的研究 | 第27-31页 |
| 1.3.1 气体环境和压强对烧蚀的影响 | 第27-28页 |
| 1.3.2 双脉冲能量通量对烧蚀的影响 | 第28-30页 |
| 1.3.3 双脉冲延迟时间对烧蚀的影响 | 第30-31页 |
| 1.4 激光烧蚀成孔研究进展 | 第31-35页 |
| 1.5 本文结构 | 第35-37页 |
| 第二章 实验系统 | 第37-43页 |
| 2.1 飞秒激光系统 | 第37-38页 |
| 2.2 飞秒激光整形系统 | 第38-40页 |
| 2.3 飞秒激光烧蚀系统 | 第40-41页 |
| 2.4 光谱采集系统 | 第41页 |
| 2.5 形貌表征系统 | 第41-43页 |
| 第三章 飞秒双脉冲激光对硅材料的烧蚀 | 第43-63页 |
| 3.1 前言 | 第43-44页 |
| 3.2 实验方法和技术 | 第44-45页 |
| 3.3 实验结果及讨论 | 第45-61页 |
| 3.3.1 大气和真空条件下，荧光信号强度随延迟时间的变化 | 第45-49页 |
| 3.3.2 大气和真空条件下，烧蚀形貌随延迟时间的变化 | 第49-53页 |
| 3.3.3 荧光信号强度随环境气压的变化 | 第53-58页 |
| 3.3.4 烧蚀形貌随环境气压的变化 | 第58-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 飞秒激光对金属材料的烧蚀成孔 | 第63-87页 |
| 4.1 前言 | 第63-64页 |
| 4.2 实验方法和技术 | 第64-65页 |
| 4.3 实验结果和讨论 | 第65-85页 |
| 4.3.1 空气条件下激光焦点与样品表面相对位置对铝烧蚀成孔的影响 | 第65-72页 |
| 4.3.2 激光脉冲能量通量对金属铝烧蚀成孔的影响 | 第72-74页 |
| 4.3.3 背景气压对金属铜烧蚀的影响 | 第74-79页 |
| 4.3.4 不同整形脉冲作用下的烧蚀效率 | 第79-82页 |
| 4.3.5 不同整形脉冲作用下的烧蚀形貌 | 第82-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第五章 结论与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 结论 | 第87-88页 |
| 5.2 展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-101页 |
| 作者简介 | 第101-103页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
