| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 微细电解加工的种类及发展 | 第9-12页 |
| 1.1.1 脉冲微细电解加工 | 第9-10页 |
| 1.1.2 微细电解铣削加工 | 第10-11页 |
| 1.1.3 采用复合微细加工 | 第11页 |
| 1.1.4 电液束流微细电解加工 | 第11-12页 |
| 1.2 微细电化学加工 | 第12-15页 |
| 1.2.1 掩膜微细电解加工 | 第12-14页 |
| 1.2.2 激光刻蚀与电化学相结合的微细电解加工 | 第14页 |
| 1.2.3 激光电化学复合的微细加工 | 第14-15页 |
| 1.2.4 其他微细电解加工技术 | 第15页 |
| 1.3 课题的来源及研究目的与意义 | 第15-17页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.3.2 研究的目的及意义 | 第15-16页 |
| 1.3.5 课题研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 激光掩膜与微细电解加工机理研究 | 第17-25页 |
| 2.1 电解加工原理及特点 | 第17-18页 |
| 2.2 激光掩膜微细电解加工机理分析 | 第18-24页 |
| 2.2.1 工件表面特性的 X 射线光电子能谱分析 | 第20-22页 |
| 2.2.2 激光掩膜层抗腐蚀性机理分析 | 第22-23页 |
| 2.2.3 进行电化学耐腐蚀性测试 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 激光掩膜与微细电解加工试验装置 | 第25-34页 |
| 3.1 激光掩膜微细电解加工技术的特点 | 第25页 |
| 3.2 激光掩膜与微细电解加工试验平台的设计 | 第25-33页 |
| 3.2.1 激光刻蚀系统 | 第26-28页 |
| 3.2.2 微细电解加工系统 | 第28-32页 |
| 3.2.3 微结构尺寸与形貌观测 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 激光掩膜微细电解加工工艺研究 | 第34-45页 |
| 4.1 确定工艺方案 | 第34-35页 |
| 4.2 规划激光扫描路径 | 第35-37页 |
| 4.3 微细电解加工试验分析 | 第37页 |
| 4.4 激光功率对加工的影响 | 第37-39页 |
| 4.5 加工电压对加工的影响 | 第39-41页 |
| 4.6 电解液对加工的影响 | 第41-42页 |
| 4.7 占空比对加工的影响 | 第42-43页 |
| 4.8 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 攻读学位期间发表的学术成果 | 第51页 |