| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8页 |
| 1. 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1. 研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2. 光学元件表面缺陷检测现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1. 平面光学元件表面缺陷检测现状 | 第16-21页 |
| 1.2.2. 球面光学元件表面缺陷检测现状 | 第21-22页 |
| 1.2.3. 球面光学元件表面缺陷检测方法探讨 | 第22页 |
| 1.3. 基于暗场散射成像的球面光学元件表面缺陷检测难点 | 第22-23页 |
| 1.4. 本文主要研究内容 | 第23-26页 |
| 2. 球面光学元件表面缺陷评价系统 | 第26-36页 |
| 2.1. 球面光学元件显微散射暗场成像原理 | 第26-27页 |
| 2.2. 球面光学元件表面缺陷的暗场照明 | 第27-29页 |
| 2.3. 球面光学元件表面缺陷评价系统 | 第29-34页 |
| 2.4. 本章小结 | 第34-36页 |
| 3. 球面光学元件表面缺陷评价处理流程 | 第36-52页 |
| 3.1. 球面光学元件表面缺陷的暗场散射成像分析 | 第36-38页 |
| 3.2. 球面光学元件表面缺陷图像处理总体流程设计 | 第38-40页 |
| 3.3. 基于小孔成像的子孔径三维矫正 | 第40-42页 |
| 3.4. 球面子孔径全局坐标变换 | 第42-45页 |
| 3.4.1. 球面三维子孔径图像插值 | 第42-44页 |
| 3.4.2. 三维子孔径全局坐标变换 | 第44-45页 |
| 3.5. 三维子孔径在投影平面上的全口径拼接 | 第45-50页 |
| 3.5.1. 三维子孔径几何投影 | 第45-46页 |
| 3.5.2. 基于特征匹配的投影子孔径拼接 | 第46-49页 |
| 3.5.2.1. SIFT特征匹配算法 | 第47-48页 |
| 3.5.2.2. 图像变换 | 第48页 |
| 3.5.2.3. 投影子孔径拼接 | 第48-49页 |
| 3.5.3. 球面表面缺陷全景图像生成 | 第49-50页 |
| 3.6. 本章小结 | 第50-52页 |
| 4. 球面光学元件表面缺陷自动化检测实验 | 第52-62页 |
| 4.1. SSDES系统搭建及元件定中 | 第52-55页 |
| 4.2. 球面光学元件表面缺陷评价实验结果及分析 | 第55-60页 |
| 4.2.1. 球面子孔径图像投影拼接流程实验 | 第56-60页 |
| 4.3. 本章小结 | 第60-62页 |
| 5. 总结与展望 | 第62-66页 |
| 5.1. 本论文完成工作总结 | 第62-64页 |
| 5.2. 未来工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第72-73页 |