| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 石英挠性加速度传感器国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 加速度传感器数字脉冲加矩再平衡技术国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 课题研究内容和意义 | 第18-20页 |
| 1.3.1 课题研究内容 | 第18-19页 |
| 1.3.2 课题研究意义 | 第19-20页 |
| 2 系统总体方案设计与误差分析 | 第20-30页 |
| 2.1 系统总体方案 | 第20-25页 |
| 2.1.1 差分电容信号检测及信号调理模块 | 第21-22页 |
| 2.1.2 数据转换及数字控制器模块 | 第22-23页 |
| 2.1.3 脉冲加矩模块 | 第23-25页 |
| 2.2 系统误差分析 | 第25-28页 |
| 2.2.1 脉冲加矩再平衡回路的精度问题 | 第25-26页 |
| 2.2.2 差分电容检测电路误差分析 | 第26-27页 |
| 2.2.3 数据转换电路及数字控制器误差分析 | 第27-28页 |
| 2.2.4 脉冲加矩反馈回路误差分析 | 第28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 高精度恒流源系统设计 | 第30-38页 |
| 3.1 恒流源系统选型分析 | 第30-33页 |
| 3.1.1 恒流源的基本类型 | 第30-31页 |
| 3.1.2 连续闭环反馈调整型恒流源选型 | 第31-33页 |
| 3.2 串联反馈型恒流源系统误差分析 | 第33-36页 |
| 3.3 高稳定性恒流源系统设计 | 第36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 双路恒流源信号加矩系统设计 | 第38-46页 |
| 4.1 加矩电路拓扑结构的设计与选型 | 第38-40页 |
| 4.1.1 同步加矩H桥拓扑结构 | 第38-39页 |
| 4.1.2 交错加矩H桥拓扑结构 | 第39-40页 |
| 4.2 双路恒流源信号加矩方案与仿真 | 第40-42页 |
| 4.3 力矩器感性网络补偿方案 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 5 系统模型分析与系统控制策略研究 | 第46-56页 |
| 5.1 系统模型分析与建立 | 第46-49页 |
| 5.2 系统控制策略分析 | 第49-53页 |
| 5.3 系统控制量分离及PWM波量化方法 | 第53-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 6 二元调宽脉冲双加矩加速度传感器实验验证 | 第56-68页 |
| 6.1 调试与测试系统搭建 | 第56-57页 |
| 6.2 恒流源系统输出信号采集与分析 | 第57-60页 |
| 6.3 脉冲双加矩电流分辨率实验 | 第60-62页 |
| 6.4 二元调宽脉冲双加矩加速度传感器系统性能分析 | 第62-67页 |
| 6.4.1 二元调宽脉冲双加矩控制算法性能测试 | 第62-64页 |
| 6.4.2 1g稳定输入状态下系统控制脉宽以及力矩器信号波形测试 | 第64-66页 |
| 6.4.3 加速度传感器系统稳定性测试 | 第66-67页 |
| 6.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 7 总结与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 总结 | 第68-69页 |
| 7.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
