| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题的来源及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 线位移传感器的性能表征方法 | 第14-16页 |
| 1.4 电容式线位移传感器非线性处理的发展 | 第16-17页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第17页 |
| 1.6 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 电容式微位移传感器校准技术的理论分析 | 第18-29页 |
| 2.1 电容式微位移传感器的测量原理 | 第18-20页 |
| 2.2 线位移传感器的校准技术 | 第20页 |
| 2.3 激光外差测量技术 | 第20-23页 |
| 2.4 声光调制技术 | 第23-26页 |
| 2.5 数学模型的建立 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 基于声光调制技术的位移传感器校准系统的设计 | 第29-39页 |
| 3.1 光路系统的设计 | 第29-33页 |
| 3.2 电路系统的设计 | 第33-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 电容式微位移传感器校准及误差处理 | 第39-50页 |
| 4.1 电容式微位移传感器的校准过程 | 第39-43页 |
| 4.2 校准结果处理 | 第43-47页 |
| 4.3 静态特性校准 | 第47-48页 |
| 4.4 动态特性校准 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 测量不确定度分析及量值的溯源 | 第50-59页 |
| 5.1 检定与校准 | 第50-51页 |
| 5.2 测量不确定度评定 | 第51-56页 |
| 5.3 校准装置的位移标准值的量值溯源 | 第56-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59页 |
| 6.2 研究的不足 | 第59-60页 |
| 6.3 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 在读期间公开发表的文章 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |