用于声表面波器件制备的激光直写光刻工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·声表面波微驱动器件研究的历史与现状 | 第11-13页 |
| ·声表面波器件的历史 | 第11页 |
| ·国内外声表面波微驱动器的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-16页 |
| 第二章 声表面波驱动器的理论基础 | 第16-24页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·声表面波简介 | 第16-17页 |
| ·声表面波与压电材料 | 第17-23页 |
| ·压电材料的压电效应 | 第18-20页 |
| ·压电材料的选择 | 第20-21页 |
| ·铌酸锂晶体的压电性质 | 第21-23页 |
| ·本章总结 | 第23-24页 |
| 第三章 激光直写光刻工艺研究及实验平台设计开发 | 第24-40页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·激光直写光刻工艺方案研究 | 第24-34页 |
| ·叉指换能器的参数设计 | 第25-26页 |
| ·激光直写光刻工艺方案研究 | 第26-34页 |
| ·激光直写程控光刻平台设计与开发 | 第34-38页 |
| ·本章总结 | 第38-40页 |
| 第四章 激光和步进电机对光刻参数的影响 | 第40-56页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·光刻参数探索 | 第40-54页 |
| ·程控光刻路线设计 | 第40-42页 |
| ·激光功率与光刻线宽的关系 | 第42-46页 |
| ·晶片离焦与光刻线宽的关系 | 第46-51页 |
| ·光刻胶倒梯形边缘形成 | 第51-54页 |
| ·本章总结 | 第54-56页 |
| 第五章 叉指电极制作工艺 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·真空蒸镀工艺制作IDT | 第57页 |
| ·真空磁控溅射工艺制作IDT | 第57-60页 |
| ·真空离子溅射工艺制作IDT | 第60-63页 |
| ·叉指换能器电路连接 | 第63-64页 |
| ·本章总结 | 第64-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-84页 |
| 研究生期间所取得的相关科研成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
