| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·双光子聚合作用加工技术的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 三维微纳结构加工系统的总体设计 | 第15-30页 |
| ·概述 | 第15-16页 |
| ·系统的工作原理 | 第16-17页 |
| ·结构介绍 | 第17-29页 |
| ·飞秒激光光源 | 第18页 |
| ·二维振镜系统 | 第18-20页 |
| ·运动系统设计 | 第20-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 三维快速结构化系统加工运动分析 | 第30-45页 |
| ·大行程进给运动设计 | 第30-31页 |
| ·三维椭圆运动设计 | 第31-35页 |
| ·加工参数下的系统运动轨迹设计 | 第35-37页 |
| ·系统的加工运动仿真及基于MATLAB的运动轨迹分析 | 第37-41页 |
| ·系统飞秒激光脉冲的数值模拟 | 第41-42页 |
| ·系统加工过程的模拟验证 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 系统运动台的静力学和动力学分析 | 第45-64页 |
| ·基于有限元方法的运动系统的静力学和模态分析 | 第45-47页 |
| ·运动系统的静力学分析 | 第46页 |
| ·运动系统的模态分析 | 第46-47页 |
| ·压电微动台的等效电路模型 | 第47-48页 |
| ·运动系统动力学模型 | 第48-56页 |
| ·直线电机运动台X向运动轴的动力学模型 | 第48-50页 |
| ·直线电机运动台Y、Z向运动轴的动力学模型 | 第50-51页 |
| ·压电微动台X轴向动力学模型 | 第51-53页 |
| ·压电微动台Y轴向的动力学模型 | 第53-55页 |
| ·压电微动台Z轴向的动力学模型 | 第55-56页 |
| ·基于MATLAB的系统动态分析 | 第56-63页 |
| ·直线电机运动系统的时域响应分析 | 第56-58页 |
| ·压电微动台系统的时域响应分析 | 第58-62页 |
| ·X、Y向压电微动台驱动时系统的频域分析 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 压电微动台-直线电机运动台串联系统实验 | 第64-67页 |
| ·压电微动台-直线电机运动台串联系统搭建 | 第64-65页 |
| ·压电微动台-直线电机运动台串联系统单驱动激励实验 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 论文总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第74-75页 |