| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·多弧离子镀概述 | 第11-12页 |
| ·多弧离子镀原理 | 第11页 |
| ·多会离子镀技术特点 | 第11-12页 |
| ·氮化物膜层发展概述 | 第12-15页 |
| ·二元氮化物硬质反应膜 | 第12-13页 |
| ·多元氮化物硬质反应膜 | 第13-14页 |
| ·多元多层氮化物硬质反应膜 | 第14-15页 |
| ·多元梯度氮化物硬质反应膜 | 第15页 |
| ·TiAlZrN、TiNbN 薄膜的研究发展 | 第15-17页 |
| ·TiAlZrN 薄膜的研究发展 | 第15-16页 |
| ·TiNbN 薄膜的研究发展 | 第16-17页 |
| ·本文研究内容及意义 | 第17-18页 |
| ·本文技术路线 | 第18-19页 |
| 第2章 试验材料与试验方案 | 第19-29页 |
| ·沉积设备简介 | 第19-20页 |
| ·试验靶材与基体材料的选取 | 第20-21页 |
| ·靶材选取 | 第20页 |
| ·基体选取 | 第20页 |
| ·基体材料前处理过程 | 第20-21页 |
| ·沉积工艺参数 | 第21-24页 |
| ·背底真空度 | 第21页 |
| ·基体负偏压 | 第21-22页 |
| ·阴极弧电流 | 第22-23页 |
| ·反应气体压强 | 第23页 |
| ·试样温度 | 第23页 |
| ·沉积时间 | 第23-24页 |
| ·传动电压 | 第24页 |
| ·沉积工艺参数设定与试验方案 | 第24-25页 |
| ·膜层性能检测方法 | 第25-29页 |
| ·膜层组织结构与成分分析 | 第25-26页 |
| ·膜层力学性能分析 | 第26-29页 |
| 第3章 (TiAlZrNb)N 硬质梯度膜形貌、成分及相结构分析 | 第29-51页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜表面形貌及表面成分分析 | 第29-34页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜表面形貌分析 | 第29-31页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜表面成分分析 | 第31-34页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜断面形貌及断面成分分析 | 第34-44页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜断面形貌分析 | 第34-37页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜断面成分分析 | 第37-44页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜相结构分析 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-51页 |
| 第4章 (TiAlZrNb)N 硬质梯度膜力学性能研究 | 第51-73页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜的显微硬度 | 第51-54页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜的膜/基附着力 | 第54-56页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜的摩擦磨损性能 | 第56-67页 |
| ·(TiAlZrNb)N 硬质梯度膜的抗热震性能 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第5章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 在校期间研究成果 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
