等离子体光谱法判别薄膜损伤技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-10页 |
| ·课题的研究背景 | 第8页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·本文主要研究的内容 | 第9-10页 |
| 2 常见的薄膜损伤判别方法 | 第10-16页 |
| ·相衬显微镜观察法 | 第10-11页 |
| ·散射光强法 | 第11-12页 |
| ·光热偏转法 | 第12-13页 |
| ·光声法 | 第13页 |
| ·传统等离子体闪光法 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-16页 |
| 3 等离子体光谱法的原理及测试过程 | 第16-28页 |
| ·等离子体光谱法判别薄膜损伤的原理 | 第16-19页 |
| ·等离子体的形成 | 第16-17页 |
| ·等离子体光谱谱线的产生 | 第17页 |
| ·等离子体光谱法的判别原理 | 第17-19页 |
| ·实验装置 | 第19-25页 |
| ·激光损伤阈值测试系统 | 第19-20页 |
| ·激光薄膜损伤测试系统的调试 | 第20-21页 |
| ·光纤光谱仪 | 第21-25页 |
| ·闪光光谱图的采集 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 4 算法设计 | 第28-41页 |
| ·总体方案 | 第28页 |
| ·光谱图预处理 | 第28-34页 |
| ·平均滤波法 | 第29-31页 |
| ·小波变换滤波法 | 第31-34页 |
| ·寻峰处理 | 第34-37页 |
| ·与大气闪光光谱数据库对比 | 第37-40页 |
| ·建立大气闪光光谱数据库 | 第37-38页 |
| ·与大气闪光光谱数据库作比对 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 实验结果及分析 | 第41-49页 |
| ·几种常见薄膜的实验结果与分析 | 第41-48页 |
| ·SiO_2和TiO_2复合薄膜 | 第41-44页 |
| ·MgF_2和ZrO_2复合薄膜 | 第44-46页 |
| ·Al_2O_3薄膜 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 6 总结 | 第49-52页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第49页 |
| ·对今后工作的建议 | 第49-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
