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基于柔性电子学的复眼照相机的制备

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-39页
   ·柔性电子学的研究背景第9-11页
   ·柔性电子学的发展与研究现状第11-13页
   ·柔性电子器件的组成与特性第13-22页
     ·组成结构第13-20页
     ·柔软度第20-22页
   ·柔性电子器件制备技术第22页
   ·数码相机原理第22-27页
   ·复眼第27-29页
   ·本论文的研究动机与主要工作第29-31页
 参考文献第31-39页
第二章 制备方法与工艺第39-67页
   ·前言第39页
   ·半导体器件工艺基本技术第39-55页
     ·薄膜制作第39-48页
       ·电子束蒸发第40-42页
       ·等离子体增强化学气相沉积第42-44页
       ·磁控溅射镀膜第44-48页
       ·旋涂制膜第48页
     ·光刻第48-50页
     ·刻蚀第50-53页
     ·掺杂第53-55页
   ·柔性电子器件关键工艺第55-59页
   ·光电探测器工作原理第59-64页
   ·本章小结第64-65页
 参考文献第65-67页
第三章 柔性感光二极管阵列的制备与测试第67-91页
   ·前言第67页
   ·设计与实验第67-82页
     ·背靠背双二极管感光单元的设计与制备第67-73页
       ·设计第67-70页
       ·实验第70-73页
     ·波浪型金属导线的设计与制备第73-79页
     ·转移第79-82页
   ·感光性能测量第82-85页
   ·本章小结第85-89页
 参考文献第89-91页
第四章 复眼照相机的制备与测试第91-121页
   ·前言第91-92页
   ·PDMS微透镜的设计、制备与光学特性和力学模型第92-101页
   ·相机组装第101-113页
     ·对准第101-103页
     ·转移第103-106页
     ·变形与组装第106-113页
   ·图像测试与分析第113-117页
   ·本章小结第117-119页
 参考文献第119-121页
第五章 全文总结第121-124页
博士期间的研究成果第124-126页
致谢第126页

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