真空溅射系统射频电源功率放大器和阻抗匹配关键技术的研究
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 插图清单 | 第12-14页 |
| 表格清单 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| ·课题研究背景 | 第15-16页 |
| ·课题研究现状 | 第16-19页 |
| ·射频电源研究现状 | 第16-18页 |
| ·阻抗匹配研究现状 | 第18-19页 |
| ·论文的研究内容 | 第19-21页 |
| ·课题的来源与意义 | 第19页 |
| ·论文的主要研究任务 | 第19-21页 |
| 第二章 真空射频溅射电源系统的分析研究 | 第21-33页 |
| ·真空溅射沉积成膜 | 第21-23页 |
| ·射频溅射方法 | 第21-22页 |
| ·真空溅射射频电源系统结构 | 第22-23页 |
| ·射频功率放大器技术分析研究 | 第23-27页 |
| ·射频功率放大器的主要技术指标 | 第23-26页 |
| ·射频功率放大器的分类 | 第26页 |
| ·射频功率放大器的一般问题与稳定措施 | 第26-27页 |
| ·阻抗匹配技术分析研究 | 第27-31页 |
| ·阻抗匹配的原理 | 第27页 |
| ·阻抗匹配分类 | 第27-31页 |
| ·阻抗匹配的计算方法 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 真空溅射射频电源的设计 | 第33-54页 |
| ·E 类功率放大器的研究 | 第33-40页 |
| ·E 类功率放大器工作原理 | 第33-37页 |
| ·E 类功率放大器网络设计 | 第37-40页 |
| ·射频电源驱动级设计 | 第40-44页 |
| ·射频电源对驱动信号的要求 | 第40-42页 |
| ·驱动级电路的设计与测试 | 第42-44页 |
| ·射频电源功率放大级的设计 | 第44-47页 |
| ·DRF1200 模型 | 第44-47页 |
| ·射频电源功率放大电路的设计 | 第47页 |
| ·射频电源阻抗匹配网络设计 | 第47-48页 |
| ·射频电源电路仿真 | 第48-51页 |
| ·仿真数据和实验数据结果分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 真空溅射射频阻抗匹配技术的研究 | 第54-68页 |
| ·射频自动阻抗匹配器的总体结构 | 第54-55页 |
| ·射频阻抗匹配传统算法的研究 | 第55-59页 |
| ·变量轮换法 | 第56-57页 |
| ·梯度下降法 | 第57-59页 |
| ·射频阻抗匹配智能优化算法的研究 | 第59-64页 |
| ·模拟退火算法 | 第59-60页 |
| ·遗传算法 | 第60-62页 |
| ·粒子群算法 | 第62页 |
| ·量子粒子群算法 | 第62-64页 |
| ·基于量子粒子群算法射频阻抗匹配控制参数优化 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录 1 | 第73-75页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第75-76页 |
