| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·ZnO 的研究背景及发展现状 | 第13-19页 |
| ·PZT 铁电电容器的研究概况 | 第19-22页 |
| ·BiFe0_3 多铁材料的研究进展 | 第22-24页 |
| ·本文的研究意义及内容 | 第24-25页 |
| 第2章 薄膜制备及表征方法 | 第25-34页 |
| ·制备方法及原理 | 第25-30页 |
| ·磁控溅射方法 | 第25-26页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第26-29页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第29-30页 |
| ·样品表征手段及原理 | 第30-34页 |
| ·X 射线衍射仪 | 第30页 |
| ·原子力显微镜 | 第30-31页 |
| ·紫外可见分光光度计 | 第31-32页 |
| ·四探针电阻测试 | 第32页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第32页 |
| ·铁电测试仪 | 第32-34页 |
| 第3章 磁控溅射法制备ZnO 薄膜的结构和性能研究 | 第34-51页 |
| ·溅射功率对室温制备ZnO 薄膜微观结构和光学性能的影响 | 第34-38页 |
| ·氧气含量对室温制备ZnO 薄膜微观结构和光学性能的影响 | 第38-45页 |
| ·沉积温度对ZnO 薄膜微观结构和光学性能的影响 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 生长温度对掺铝氧化锌薄膜结构和性能的影响 | 第51-67页 |
| ·生长温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的微观结构和光电性能的影响 | 第51-58页 |
| ·生长温度对脉冲沉积技术制备掺铝氧化锌薄膜的微观结构和光电性能的影响 | 第58-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 工艺参数对溶胶-凝胶法制备PZT 铁电电容器结构和性能的影响 | 第67-84页 |
| ·退火气氛对硅基Pt/PZT/Pt 铁电电容器结构和性能的影响 | 第67-72页 |
| ·退火温度对硅基Pt/PZT/Pt 铁电电容器结构和性能的影响 | 第72-75页 |
| ·退火时间对硅基Pt/PZT/Pt 铁电电容器结构和性能的影响 | 第75-79页 |
| ·退火温度对硅基Pt/PZT/LaNi0_3/Pt 铁电电容器结构和性能的影响 | 第79-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第6章 退火工艺对溶胶-凝胶法制备 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电电容器 结构和性能的影响 | 第84-96页 |
| ·氧气氛退火对Pt/BFMO/Pt 铁电电容器微观结构和电学性能的影响 | 第84-91页 |
| ·氮气氛退火对Pt/BFMO/Pt 铁电电容器微观结构和电学性能的影响 | 第91-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第7章 掺铝氧化锌薄膜与铁电薄膜的集成研究 | 第96-103页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜与PZT 铁电薄膜的集成研究 | 第96-98页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜与BFMO 薄膜的集成研究 | 第98-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 结束语 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 在学期间科研情况 | 第118-120页 |
