| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| ·研究的起源及目的 | 第14-15页 |
| ·国内外纳米三坐标测量机的研究现状 | 第15-16页 |
| ·用于纳米测量的信号计数细分技术 | 第16-18页 |
| ·振幅细分 | 第16-17页 |
| ·相位细分 | 第17-18页 |
| ·大行程纳米定位控制系统的实现 | 第18-20页 |
| ·自适应控制理论和实践 | 第20-21页 |
| ·课题研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 纳米三坐标测量机整机架构 | 第22-33页 |
| ·共平面平台 | 第22-23页 |
| ·三维阿贝原则 | 第22-23页 |
| ·对称结构推拉式 X-Y 共平面平台 | 第23页 |
| ·宝塔式桥架配重主轴 | 第23-26页 |
| ·宝塔式桥架 | 第23-24页 |
| ·配重式主轴 | 第24-26页 |
| ·多自由度测量系统 MDFMS （ Multi Degree of Freedom Measurement System） | 第26-30页 |
| ·接触扫描式探头 | 第30-31页 |
| ·软件开发平台简介及纳米三坐标测控系统架构 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于超声波马达和 MDFMS 的纳米定位控制技术开发 | 第33-52页 |
| ·超声波马达 | 第33-38页 |
| ·超声波马达结构及特性 | 第33-34页 |
| ·Nanomotion 超声波马达 | 第34-35页 |
| ·超声波马达驱动器 AB2 driver 的介绍 | 第35-38页 |
| ·正交弦波信号的处理 | 第38-42页 |
| ·硬件预处理 | 第38-39页 |
| ·辨向计数和细分 | 第39-42页 |
| ·基于 BP 神经网络的 PID 控制理论 | 第42-48页 |
| ·PID 控制器 | 第43-44页 |
| ·基于 BP 神经网络的 PID 控制 | 第44-48页 |
| ·定位控制系统架构及实验 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 纳米三坐标测量机测量软件的开发 | 第52-67页 |
| ·探头触发程式 | 第52-56页 |
| ·探头二次触发控制 | 第52-54页 |
| ·探头触发点的找寻程序 | 第54-56页 |
| ·基本几何形状的测量程序 | 第56-63页 |
| ·二维直线拟合及直线度误差 | 第56-57页 |
| ·空间直线拟合及直线度误差 | 第57-59页 |
| ·测点数大于 3 时，空间平面拟合及平面度误差 | 第59-61页 |
| ·测点数大于 3 时，圆的拟合与圆度 | 第61-62页 |
| ·球体的拟合 | 第62-63页 |
| ·坐标系建立与转换 | 第63-66页 |
| ·HTM 坐标系统平移 | 第64-65页 |
| ·HTM 坐标系统旋转 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 测量实验 | 第67-73页 |
| ·探头触发重复性实验 | 第67-69页 |
| ·测球等效直径的标定 | 第69页 |
| ·外圆测量实验 | 第69-70页 |
| ·探头扫描模式测量 | 第70-72页 |
| ·扫描流程介绍 | 第70-71页 |
| ·透镜的扫描测量 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·研究总结 | 第73页 |
| ·研究工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第78-79页 |