微加速度传感器的结构特性与仿真研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·微机电系统 CAD 的研究现状 | 第11页 |
| ·微机电系统的特性 | 第11-12页 |
| ·MEMS CAD 设计方法 | 第12-13页 |
| ·论文的主要工作 | 第13-15页 |
| ·研究意义 | 第13页 |
| ·研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 加速度传感器 | 第15-27页 |
| ·加速度传感器的理论依据 | 第15页 |
| ·加速度传感器 | 第15-21页 |
| ·加速度传感器的分类 | 第16-21页 |
| ·各种原理加速度传感器的比较 | 第21页 |
| ·电容式加速度传感器 | 第21-27页 |
| 第三章 梳齿式加速度传感器的设计 | 第27-36页 |
| ·梳齿式电容式加速度传感器的工作原理 | 第27-28页 |
| ·分析方法及仿真模型 | 第28-32页 |
| ·二维版图设计 | 第29-30页 |
| ·工艺流程 | 第30页 |
| ·多物理场耦合 | 第30-32页 |
| ·仿真及结果分析 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 悬臂梁型加速度传感器的设计 | 第36-45页 |
| ·悬臂梁型加速度传感器的工作原理 | 第36-38页 |
| ·结构设计与分析 | 第38-41页 |
| ·仿真及结果分析 | 第41-44页 |
| ·静力学分析 | 第41-42页 |
| ·模态分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 悬臂梁型加速度传感器的结构优化 | 第45-61页 |
| ·悬臂梁尺寸的优化设计 | 第45-55页 |
| ·悬臂梁尺寸对加速度计力学性能影响 | 第45-51页 |
| ·悬臂梁尺寸的优化及仿真 | 第51-55页 |
| ·阻尼孔的优化设计 | 第55-60页 |
| ·加速度计的阻尼作用 | 第55-57页 |
| ·阻尼孔的优化及仿真 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·本文工作总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
