| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-31页 |
| ·引言 | 第10-18页 |
| ·湿度 | 第10-11页 |
| ·湿度传感器 | 第11-12页 |
| ·湿度传感器的选择 | 第12-13页 |
| ·湿度传感器的使用要求 | 第13页 |
| ·湿度传感器种类 | 第13-18页 |
| ·纳米ZnO在传感器中的应用 | 第18-23页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第18-19页 |
| ·纳米氧化锌的制备方法 | 第19-21页 |
| ·纳米氧化锌在传感器中的应用 | 第21-23页 |
| ·硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)的制备与表征 | 第23-25页 |
| ·水热腐蚀法制备硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) | 第23-24页 |
| ·Si-NPA的表征 | 第24-25页 |
| ·Si-NPA的湿敏性质和气敏性质 | 第25-29页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第29-31页 |
| 2 ZnO＠PVP/Si-NPA纳米复合结构的制备与表征 | 第31-50页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·氧化锌纳米颗粒的制备与表征 | 第32-37页 |
| ·纳米氧化锌颗粒的制备 | 第33-35页 |
| ·纳米氧化锌颗粒合成的反应过程 | 第35-37页 |
| ·聚乙烯吡咯烷酮(PVP)修饰氧化锌的制备 | 第37-48页 |
| ·纳米ZnO＠PVP/Si-NPA的制备 | 第37页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA的SEM图 | 第37-38页 |
| ·ZnO＠PVP的傅立叶变换红外吸收光谱 | 第38-40页 |
| ·ZnO＠PVP紫外-可见光吸收光谱分析和荧光光谱比对 | 第40-44页 |
| ·氧化锌纳米颗粒的XRD分析 | 第44-45页 |
| ·氧化锌纳米颗粒的TEM分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 3 纳米ZnO＠PVP/Si-NPA复合结构的湿敏特性研究 | 第50-68页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·湿敏元件的制备 | 第50-51页 |
| ·纳米氧化锌薄膜的制备 | 第50页 |
| ·湿敏元件电极的制作 | 第50-51页 |
| ·测量环境与测量仪器 | 第51-52页 |
| ·PVP/Si-NPA湿敏元件测试与结果分析 | 第52-56页 |
| ·PVP/Si-NPA湿敏元件 | 第52-54页 |
| ·PVP/Si-NPA湿敏元件的灵敏度 | 第54页 |
| ·响应时间 | 第54-55页 |
| ·PVP/Si-NPA湿敏元件的重复性 | 第55-56页 |
| ·ZnO/Si和ZnO＠PVP/Si湿敏元件的湿敏性质 | 第56-60页 |
| ·ZnO/Si湿敏元件 | 第56-57页 |
| ·ZnO/Si湿敏元件的灵敏度 | 第57页 |
| ·ZnO/Si湿敏元件的重复性测试和响应时间 | 第57-58页 |
| ·ZnO＠PVP/Si湿敏元件 | 第58-59页 |
| ·ZnO＠PVP/Si湿敏元件的灵敏度 | 第59页 |
| ·ZnO＠PVP/Si湿敏元件的重复性测试和响应时间 | 第59-60页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA湿敏元件湿敏性质 | 第60-66页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA湿敏元件 | 第60-62页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA湿敏元件的灵敏度 | 第62-63页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA湿敏元件的重复性测试和响应时间 | 第63-65页 |
| ·ZnO＠PVP/Si-NPA湿敏元件的动态响应恢复曲线 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 4 结论与展望 | 第68-71页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间的成果 | 第77页 |
