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金属局域表面等离子体增强半导体近紫外发光的研究

中文摘要第1-11页
Abstract第11-13页
1 文献综述第13-37页
   ·表面等离子体激元(SURFACE PLASMON POLARITONS)第13-24页
     ·表面等离子体激元的定义第13页
     ·自由电子气模型第13-15页
     ·实际金属的介电常数第15-16页
     ·金属界面上的表面等离子体第16-22页
     ·表面等离子体的激发第22-24页
   ·局域的表面等离子体激元(LOCALIZED SURFACE PLASMONS)第24-33页
     ·准静态理论下的LSPs与高阶模式的LSPs第24-29页
     ·影响LSPs共振的因素第29-32页
     ·LSPs能量的衰减第32-33页
   ·表面等离子体激元的应用第33-37页
2 实验设备介绍第37-47页
   ·原子层沉积系统(ALD)第37-38页
     ·原子层沉积的工作原理第37-38页
     ·原子层沉积的工艺优点第38页
   ·分子束外延系统(MBE)第38-40页
     ·分子束外延的工作原理第38-39页
     ·分子束外延的技术优点第39-40页
   ·高分辨X射线衍射技术(HRXRD)第40-42页
     ·高分辨X射线衍射技术的原理第40-41页
     ·高分辨X射线衍射技术的扫描方式第41-42页
   ·扫描电子显微镜(SEM)第42-43页
   ·透射电子显微镜(TEM)第43页
   ·原子力显微镜(AFM)第43-45页
   ·光致发光(PL)第45-47页
3 金属纳米结构的制备第47-57页
   ·热退火处理第47-48页
   ·电子束刻蚀(EBL)第48-52页
     ·电子束刻蚀的基本原理第48-50页
     ·电子束刻蚀工艺流程第50-51页
     ·电子束刻蚀样品表征第51-52页
   ·聚热离子束刻蚀(FIB)第52-57页
     ·聚焦离子束的基本原理第52-54页
     ·聚焦离子束的操作流程第54-57页
4 数值计算第57-73页
   ·离散偶极近似法(DDA)第57-58页
   ·时域有限差分法(FDTD)第58-64页
     ·麦克斯韦方程的标量形式第59-60页
     ·FDTD差分方程第60-62页
     ·完全匹配层(PML)吸收边界条件第62-64页
   ·时域有限差分法(FDTD)计算结果与讨论第64-73页
     ·颗粒大小的影响第64-66页
     ·形状的影响第66-68页
     ·周围介质的影响第68-69页
     ·入射光偏振态的影响第69-70页
     ·实验设计第70-73页
5 表面等离子体增强GAN基紫外LED发光第73-84页
   ·GAN基紫外LED器件研究现状第73-74页
   ·表面等离子体激元增强GAN基LED发光的进展第74-79页
   ·表面等离子体激元增强紫外LED发光第79-82页
     ·样品生长第79-81页
     ·样品截面的TEM形貌分析第81-82页
   ·金属PT纳米颗粒表面等离子体与近紫外MQWs的耦合第82-84页
6 表面等离子激元增强ZNO带边发光第84-97页
   ·表面等离子激元增强ZNO发光的进展第84-86页
   ·高质量ZNO薄膜的制备与表征第86-89页
     ·原子层沉积发生长ZnO薄膜第86-87页
     ·ZnO薄膜的表面形貌第87-88页
     ·高分辨X射线衍射分析晶体结构第88页
     ·InGaN/AlGaN多量子阱的光致发光性能第88-89页
   ·表面等离子体激元耦合提高ZNO发光的研究第89-91页
   ·表面等离子激元增强二极管的发光机理探讨第91-97页
7 总结第97-98页
参考文献第98-106页
博士期间发表论文第106-107页
致谢第107页

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