| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题背景及研究目的 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·国外研究现状 | 第10-11页 |
| ·国内研究现状 | 第11-13页 |
| ·机器视觉技术及其工业应用现状 | 第13-14页 |
| ·本课题研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 机电系统总体设计方案 | 第15-20页 |
| ·检测设备设计的基本要求 | 第15-16页 |
| ·ITO ARRAY 基板表面缺陷视觉检测设备的总体构架 | 第16-17页 |
| ·总体方案的检测效率和时间分配 | 第17-19页 |
| ·移动距离的确定 | 第17-18页 |
| ·各个运动速度及占用时间确定 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 图像采集系统设计 | 第20-38页 |
| ·光学系统设计 | 第20-32页 |
| ·镜头相关参数的计算及确定 | 第20-27页 |
| ·相机相关参数的计算及确定 | 第27-29页 |
| ·光源发光体及照明方式的确定 | 第29-32页 |
| ·高速采集卡（Frame grabber）参数的计算及确定 | 第32页 |
| ·工业相机、镜头、光源和采集卡的选型 | 第32-37页 |
| ·工业相机的选型 | 第32-33页 |
| ·工业镜头的选型 | 第33-34页 |
| ·线性同轴光源的选型 | 第34-36页 |
| ·图像采集卡选型 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 机电系统设计 | 第38-53页 |
| ·机械支撑部件设计 | 第38-40页 |
| ·图像采集系统硬件支撑机构的设计 | 第38-39页 |
| ·上下料机构的设计 | 第39-40页 |
| ·机电运动部件的设计 | 第40-51页 |
| ·直线运动部件的计算与选型 | 第40-47页 |
| ·伺服系统的构建 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 控制系统设计与调试 | 第53-77页 |
| ·控制系统总体设计 | 第53-54页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第54-73页 |
| ·DSP 及外围电路设计 | 第55-57页 |
| ·相机行频与基板运动速度匹配电路设计 | 第57-63页 |
| ·加减速运动规律设计及实现 | 第63-73页 |
| ·DSP 控制系统软件设计 | 第73-76页 |
| ·控制系统开发环境 CCS 介绍 | 第73-74页 |
| ·软件设计 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 最终设计及运行情况 | 第77-82页 |
| 结论 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附件 | 第88页 |