| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·DLC膜的结构与组成 | 第14-15页 |
| ·DLC膜的性质与应用 | 第15-18页 |
| ·DLC膜的机械性能及应用 | 第16-17页 |
| ·DLC膜的光学性能及应用 | 第17页 |
| ·DLC膜的电声性能及应用 | 第17-18页 |
| ·DLC膜的生物医学应用 | 第18页 |
| ·DLC膜的制备方法 | 第18-21页 |
| ·物理气相沉积 | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积 | 第20-21页 |
| ·DLC膜应用研究中存在的问题 | 第21-22页 |
| ·局域表面等离子体共振效应(LSPR) | 第22-23页 |
| ·LSPR效应在生物传感器的应用 | 第23-25页 |
| ·本文研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第26-37页 |
| ·磁控弧光射频等离子体增强化学气相沉积设备及原理 | 第26-27页 |
| ·射频等离子体增强化学气相沉积的原理 | 第27-28页 |
| ·基板的预处理 | 第28-29页 |
| ·DLC膜的制备工艺 | 第29-31页 |
| ·沉积DLC膜的操作过程 | 第29-30页 |
| ·DLC膜的制备工艺参数 | 第30-31页 |
| ·基板及退火处理对DLC膜结构性能的影响 | 第31-32页 |
| ·Au、Ag纳米粒子表面沉积DLC膜 | 第32-33页 |
| ·热蒸镀法在生物玻璃上制备Au纳米颗粒 | 第32页 |
| ·电化学沉积法在ITO导电玻璃上制备Au、Ag纳米颗粒 | 第32-33页 |
| ·Au、Ag纳米粒子表面沉积DLC膜 | 第33页 |
| ·DLC膜分析测试方法及原理 | 第33-37页 |
| ·探针轮廓仪 | 第33-34页 |
| ·拉曼(Raman)光谱仪 | 第34页 |
| ·X射线光电子能谱仪(XPS) | 第34-35页 |
| ·原子力显微镜 | 第35页 |
| ·场发射扫描电镜 | 第35页 |
| ·旋转摩擦实验 | 第35页 |
| ·紫外可见光分光光度计 | 第35-36页 |
| ·划痕测试 | 第36-37页 |
| 第三章 DLC膜的制备工艺研究 | 第37-82页 |
| ·DLC膜的厚度分析 | 第37-41页 |
| ·不同射频功率对DLC膜厚度的影响 | 第38-39页 |
| ·不同沉积时间对DLC膜厚度的影响 | 第39-40页 |
| ·不同碳源气体流量对DLC膜厚度的影响 | 第40-41页 |
| ·DLC膜的AFM形貌 | 第41-47页 |
| ·不同射频功率DLC膜的AFM分析 | 第41-43页 |
| ·不同沉积时间DLC膜的AFM分析 | 第43-45页 |
| ·不同碳源气体流量DLC膜的AFM分析 | 第45-47页 |
| ·DLC膜的扫描形貌 | 第47-49页 |
| ·热场发射扫描微观形貌 | 第47-48页 |
| ·DLC膜的生长分析 | 第48-49页 |
| ·DLC膜的拉曼光谱 | 第49-53页 |
| ·不同射频功率DLC膜的拉曼光谱分析 | 第50-51页 |
| ·不同沉积时间DLC膜的拉曼光谱分析 | 第51-52页 |
| ·不同碳源气体流量DLC膜的拉曼光谱分析 | 第52-53页 |
| ·DLC膜的X射线光电子能谱 | 第53-59页 |
| ·不同射频功率DLC膜的XPS分析 | 第54-55页 |
| ·不同沉积时间DLC膜的XPS分析 | 第55-57页 |
| ·不同碳源气体流量DLC膜的XPS分析 | 第57-59页 |
| ·DLC膜的摩擦性能 | 第59-64页 |
| ·不同射频功率DLC膜的摩擦曲线 | 第60-61页 |
| ·不同沉积时间DLC膜的摩擦曲线 | 第61-63页 |
| ·不同碳源气体流量DLC膜的摩擦曲线 | 第63-64页 |
| ·DLC膜与基板的附着性能 | 第64-67页 |
| ·不同射频功率DLC膜的附着性能分析 | 第64-65页 |
| ·不同沉积时间DLC膜的附着性能分析 | 第65-66页 |
| ·不同碳源气体流量DLC膜的附着性能分析 | 第66-67页 |
| ·DLC膜的透过率分析 | 第67-69页 |
| ·DLC膜的热稳定性 | 第69-75页 |
| ·退火处理对DLC膜拉曼光谱的影响 | 第69-70页 |
| ·退火处理对DLC膜XPS的影响 | 第70-71页 |
| ·退火处理对DLC膜AFM形貌的影响 | 第71-72页 |
| ·退火处理对DLC膜摩擦性能的影响 | 第72-74页 |
| ·退火处理对DLC膜透光率的影响 | 第74-75页 |
| ·基板及梯度功率对DLC膜结构性能的影响 | 第75-80页 |
| ·不同基板上梯度DLC膜的拉曼光谱 | 第75-76页 |
| ·不同基板上梯度DLC膜的XPS | 第76-77页 |
| ·不同基板上梯度DLC膜的AFM形貌 | 第77-78页 |
| ·不同基板上板梯度DLC膜的摩擦性能 | 第78-79页 |
| ·不同基板上梯度DLC膜的附着性能 | 第79-80页 |
| ·不同基板上梯度DLC膜的透过率 | 第80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第四章 DLC膜的LSPR界面性能研究 | 第82-92页 |
| ·热蒸镀法制备的Au纳米粒子的表征 | 第82-84页 |
| ·Au纳米粒子的表面形貌 | 第83-84页 |
| ·Au纳米粒子的LSPR吸收光谱 | 第84页 |
| ·Au纳米粒子表面DLC膜的LSPR界面研究 | 第84-86页 |
| ·Au纳米粒子表面沉积DLC膜的拉曼光谱分析 | 第84-85页 |
| ·Au纳米粒子表面沉积DLC膜的扫描电镜形貌 | 第85-86页 |
| ·LSPR界面的吸收光谱分析 | 第86页 |
| ·电化学法制备Au、Ag纳米粒子的表征 | 第86-88页 |
| ·Au、Ag纳米粒子的冷场发射扫描电镜形貌 | 第87页 |
| ·Au、Ag纳米粒子的LSPR吸收光谱 | 第87-88页 |
| ·Au、Ag纳米粒子表面沉积DLC膜的LSPR界面研究 | 第88-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第五章 结论 | 第92-94页 |
| ·本文结论 | 第92-93页 |
| ·本文主要创新点 | 第93页 |
| ·对进一步研究的建议 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第104-105页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第105页 |