| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-35页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·六维力传感器的发展及现状 | 第16-26页 |
| ·六维力传感器发展概述 | 第16-20页 |
| ·面向应用需求的各种多维力/触觉传感器 | 第20-24页 |
| ·多维力传感器若干研究领域概述及现状 | 第24-26页 |
| ·六维力传感器微型化的关键技术 | 第26-33页 |
| ·基于MEMS 技术的力传感器系统设计的一般过程 | 第26-28页 |
| ·MEMS 工艺简介 | 第28-29页 |
| ·应变计的技术发展与应用综述 | 第29-33页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第33-34页 |
| ·课题来源及意义 | 第33页 |
| ·学位论文的主要研究内容 | 第33-34页 |
| ·本文结构 | 第34-35页 |
| 第2章 微型六维力/力矩传感器的研制 | 第35-50页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·设计要求及技术指标 | 第35-36页 |
| ·微型六维力传感器机械系统设计 | 第36-44页 |
| ·微型六维力传感器弹性体设计 | 第36-39页 |
| ·有限元仿真与分析 | 第39-42页 |
| ·集成式应变计的设计与制作 | 第42-44页 |
| ·信号调理电路及数字化电路设计与集成 | 第44-49页 |
| ·微型信号调理电路设计 | 第44-46页 |
| ·微型数字化电路设计 | 第46-47页 |
| ·机械电路集成设计 | 第47-48页 |
| ·传感器系统软件设计 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 微型六维力/力矩传感器MEMS 工艺 | 第50-66页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·薄膜电阻应变计的设计与制作 | 第50-56页 |
| ·薄膜应变计的图形设计 | 第50-52页 |
| ·薄膜应变计的微加工工艺 | 第52-54页 |
| ·薄膜电阻应变计结构的调整 | 第54-56页 |
| ·各功能材料的分析实验选择 | 第56-60页 |
| ·弹性体材料的选择 | 第56页 |
| ·薄膜电阻应变合金的选择 | 第56-58页 |
| ·绝缘层材料的实验选择 | 第58-60页 |
| ·引线键合 | 第60-62页 |
| ·引线键合工艺简介 | 第60页 |
| ·引线键合的质量控制与实施 | 第60-62页 |
| ·系统测试 | 第62-64页 |
| ·系统温度可靠性测试 | 第62页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 微型六维力/力矩传感器静动态性能研究 | 第66-83页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·六维力传感器静态解耦的研究 | 第66-69页 |
| ·基于最小二乘法的静态线性解耦 | 第67-68页 |
| ·神经网络静态非线性解耦 | 第68-69页 |
| ·六维力传感器加载实验及静态性能指标 | 第69-72页 |
| ·各向独立加载 | 第70-71页 |
| ·各向耦合情况 | 第71-72页 |
| ·六维力传感器标定矩阵扰动分析 | 第72-76页 |
| ·测量矩阵U 各元素误差的确定 | 第73-74页 |
| ·标定矩阵C 的扰动对F 测量结果的影响 | 第74-75页 |
| ·传感器各项静态性能指标 | 第75-76页 |
| ·六维力传感器动态性能研究 | 第76-82页 |
| ·动态实验建模 | 第76-78页 |
| ·动态性能指标 | 第78-79页 |
| ·实验建模的系统辨识法 | 第79-81页 |
| ·动态补偿器设计与仿真 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 六维力/力矩传感器自动标定的研究 | 第83-108页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·基于三轴加速度计的多维力传感器静态自标定 | 第83-87页 |
| ·三轴加速度计倾角测量原理及自标定测量系统 | 第84页 |
| ·基于三轴加速度计的多维力传感器静态自标定 | 第84-87页 |
| ·三轴加速度计的标定 | 第87页 |
| ·从运动复原形状(Shape form Motion) | 第87-93页 |
| ·问题的提出 | 第87-88页 |
| ·“Shape from Motion”自动标定算法 | 第88-90页 |
| ·奇异值分解降噪理论及有效秩问题 | 第90-93页 |
| ·RX60 机器人操作力传感器自动标定的运动规划 | 第93-94页 |
| ·多维力/力矩传感器的自动标定 | 第94-103页 |
| ·多维力传感器的自动标定 | 第94-98页 |
| ·力/力矩传感器的自动标定 | 第98-101页 |
| ·多维力传感器联合自动标定 | 第101-103页 |
| ·自动标定法与最小二乘法的比较 | 第103-107页 |
| ·仿真比较 | 第103-106页 |
| ·实验比较 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第117-118页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-121页 |
| 个人简历 | 第121页 |