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氧化锌/硅纳米孔柱阵列异质结构复合体系的制备及光学特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 前言第9-18页
 §1.1 纳米氧化锌(ZnO)材料简述第9-13页
  §1.1.1 ZnO薄膜的晶体结构和制备方法第9-12页
  §1.1.2 纳米ZnO的研究近况第12-13页
 §1.2 硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)的研究进展及应用前景第13-17页
  §1.2.1 Si-NPA的基本性质第13-15页
  §1.2.2 Si-NPA的光学特性第15-17页
  §1.2.3 硅纳米孔柱阵列的研究近况及应用前景第17页
 §1.3 本论文的研究内容第17-18页
第二章 ZnO/Si-NPA复合体系的制备及结构分析第18-28页
 §2.1 ZnO/Si-NPA复合体系的制备方法第18-21页
 §2.2 ZnO/Si-NPA复合体系的结构分析及调控第21-26页
  §2.2.1 Zn膜厚度对ZnO/Si-NPA复合体系结构的影响第21-24页
  §2.2.2 退火温度对ZnO/Si-NPA复合体系结构的影响第24-26页
 §2.3 小结第26-28页
第三章 ZnO/Si-NPA复合体系的光学性能研究第28-39页
 §3.1 ZnO/Si-NPA复合体系的结构对其光学特性的影响第28-31页
  §3.1.1 顶端集中生长结构的ZnO/Si-NPA光学性能第28-29页
  §3.1.2 "幕布"式生长结构的ZnO/Si-NPA光学性能第29-31页
 §3.2 退火条件对ZnO/Si-NPA光学特性的影响第31-38页
  §3.2.1 退火温度对ZnO/Si-NPA光吸收特性的影响第32-34页
  §3.2.2 退火温度对ZnO/Si-NPA光致发光特性的影响第34-38页
 §3.3 小结第38-39页
第四章 结论第39-41页
参考文献第41-48页
致谢第48页

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