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高功率半导体激光器腔面镀膜研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-12页
 §1.1 薄膜光学的发展第7-8页
 §1.2 高功率半导体激光器腔面薄膜的发展第8-9页
 §1.3 论文研究目的及内容第9-12页
第二章 薄膜光学理论第12-23页
 §2.1 薄膜光学的电磁理论基础第12-16页
 §2.2 光学薄膜的光学特性计算方法第16-23页
第三章 高功率半导体激光器腔面膜的设计第23-37页
 §3.1 薄膜材料的选择第23-30页
 §3.2 腔面膜的设计第30-37页
第四章 薄膜的制备第37-49页
 §4.1 薄膜的制备装置及其工作原理第37-41页
 §4.2 薄膜的制备工艺第41-47页
 §4.3 实验结果第47-49页
第五章 薄膜的测试及分析第49-54页
 §5.1 高反射膜系中SI膜的测试及其分析第49-51页
 §5.2 高反射膜的附着力和致密性测试及分析第51-52页
 §5.3 在激光器上的应用测试及其分析第52-54页
结论第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-57页

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