微热板真空传感器及其单芯片集成技术的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-10页
1 绪论	第10-30页
·微型真空传感器概述	第10-17页
·微型真空传感器分类及其研究进展	第10-17页
·微型真空传感器的运用前景	第17页
·平行板间的气体导热理论	第17-19页
·微型热传导真空传感器	第19-25页
·工作原理	第19-20页
·国内外研究进展	第20-25页
·微型热传导真空传感器的集成技术	第25-28页
·集成微传感器概述	第25-27页
·集成热传导真空传感器研究进展	第27-28页
·本文的研究意义及内容	第28-30页
2 微热板真空传感器结构设计与热分析	第30-56页
·引言	第30页
·微热板真空传感器的结构设计	第30-33页
·微热板真空传感器的基本结构和工作原理	第30-32页
·多晶硅加热电阻的微热板真空传感器结构设计	第32-33页
·铂金加热电阻的微热板真空传感器结构设计	第33页
·微热板真空传感器的传热形式	第33-39页
·气体热传导	第34-35页
·气体对流换热	第35页
·支撑桥热传导	第35-38页
·热辐射	第38-39页
·微热板真空传感器传热理论分析	第39-52页
·模型简化	第39-40页
·加热电流恒定时传感器的传热特性	第40-45页
·微热板中间区域温度恒定时传感器的传热特性	第45-49页
·微热板温度场的有限元分析	第49-51页
·微热板的温度瞬态响应分析	第51-52页
·热弹性分析	第52-54页
·热弹性分析原理	第52-53页
·微热板真空传感器热变形的有限元分析	第53-54页
·小结	第54-56页
3 微热板真空传感器的微加工工艺研究	第56-73页
·引言	第56-57页
·牺牲层与结构层的选择	第57-58页
·常用的相互匹配的牺牲层与结构层	第57-58页
·多晶硅加热电阻的微热板牺牲层与结构层的选择	第58页
·铂金加热电阻的微热板牺牲层与结构层的选择	第58页
·表面牺牲层技术制作微热板的关键技术研究	第58-66页
·牺牲层腐蚀技术研究	第58-60页
·结构层的刻蚀技术研究	第60-61页
·台阶平坦化研究	第61-64页
·结构层残余应力控制技术研究	第64-66页
·微热板真空传感器版图及工艺流程	第66-71页
·小结	第71-73页
4 微热板真空传感器的性能测试与分析	第73-91页
·引言	第73页
·测试系统	第73-74页
·不同工作模式下传感器灵敏特性分析	第74-78页
·恒电流模式	第74-76页
·恒电压模式	第76-77页
·恒温模式	第77-78页
·测试结果与分析	第78-90页
·薄膜电阻特性测试	第78-80页
·恒电流模式测试结果	第80-82页
·恒电压模式测试结果	第82-84页
·恒温模式测试结果	第84-85页
·变形测试	第85-87页
·环境对传感器的影响	第87-90页
·小结	第90-91页
5 微热板真空传感器与电路的单芯片集成	第91-109页
·引言	第91页
·微热板真空传感器与电路单芯片集成的工艺研究	第91-95页
·微热板真空传感器单芯片集成工艺模式选择	第91-92页
·集成微热板真空传感器芯片工艺流程	第92-95页
·集成微热板真空传感器芯片设计	第95-102页
·集成微热板真空传感器芯片框图	第95-96页
·微热板真空传感器设计	第96-97页
·CMOS运算放大器设计	第97-101页
·集成微热板真空传感器芯片版图设计	第101-102页
·加工与测试	第102-107页
·集成微热板真空传感器芯片的加工	第102-104页
·微热板真空传感器测试单元测试	第104-105页
·运算放大器测试单元测试	第105-107页
·集成微热板真空传感器测试	第107页
·小结	第107-109页
结论	第109-111页
创新点摘要	第111-112页
参考文献	第112-118页
攻读博士学位期间发表学术论文情况	第118-120页
致谢	第120-121页