MEMS及MCM中柔性铰链的设计与制造
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·课题相关概念 | 第13-16页 |
| ·MEMS及MCM | 第13-14页 |
| ·柔性铰链 | 第14-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 柔性铰链的计算与分析 | 第18-28页 |
| ·微系统中的尺度效应 | 第18-19页 |
| ·柔性铰链刚度的计算 | 第19-24页 |
| ·弓形柔性铰链 | 第19-22页 |
| ·倒圆角直梁形柔性铰链 | 第22-23页 |
| ·椭圆形柔性铰链 | 第23-24页 |
| ·柔性铰链的计算、比较与分析 | 第24-27页 |
| ·弓形柔性铰链转动刚度与设计参数的关系 | 第24页 |
| ·圆形柔性铰链转动刚度与设计参数的关系 | 第24-25页 |
| ·倒圆角直梁形柔性铰链转动刚度与设计参数的关系 | 第25-26页 |
| ·椭圆形柔性铰链转动刚度与设计参数的关系 | 第26页 |
| ·曲线比较与分析 | 第26-27页 |
| ·柔性铰链应用场合及制造工艺 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 柔性铰链的优化设计 | 第28-38页 |
| ·优化设计的相关概念 | 第28-29页 |
| ·柔性铰链普通优化设计 | 第29-31页 |
| ·优化数学模型建立 | 第29-31页 |
| ·优化问题求解 | 第31页 |
| ·模糊优化设计 | 第31-37页 |
| ·模糊优化设计概念 | 第31-33页 |
| ·模糊优化数学模型的建立 | 第33-34页 |
| ·模糊约束的隶属函数 | 第34-35页 |
| ·模糊约束的非模糊化处理 | 第35页 |
| ·优化求解过程及结果分析 | 第35-37页 |
| ·两种优化设计方法的比较 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 柔性连接技术的研究 | 第38-45页 |
| ·需要解决的问题 | 第38页 |
| ·MCM原理 | 第38-39页 |
| ·MEMS高密度互连与组装 | 第39-43页 |
| ·薄膜高密度互连 | 第41-42页 |
| ·金硅键合 | 第42-43页 |
| ·柔性连接技术 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 柔性连接的制造工艺 | 第45-54页 |
| ·MEMS中微制造概述 | 第45页 |
| ·梯形悬臂梁加工工艺 | 第45-47页 |
| ·柔性连接的制造工艺 | 第47-53页 |
| ·制造工艺顺序 | 第47页 |
| ·芯片连接的制造工艺 | 第47-51页 |
| ·折弯技术 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 悬臂梁结构分析与柔性连接强度校核 | 第54-67页 |
| ·传感器结构分析 | 第54-58页 |
| ·传感器悬臂梁结构模型 | 第54页 |
| ·弹性应力应变 | 第54-57页 |
| ·冲击计算 | 第57-58页 |
| ·悬臂梁结构有限元仿真 | 第58-63页 |
| ·有限元方法概念 | 第58-59页 |
| ·悬臂梁有限元仿真与分析 | 第59-63页 |
| ·柔性连接强度校核 | 第63-66页 |
| ·薄膜力学 | 第63页 |
| ·柔性连接有限元仿真与分析 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第七章 总结与展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 计算公式的数学推导过程 | 第73-75页 |
| 在学期间的研究成果 | 第75页 |
