| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1-1 概述 | 第8页 |
| 1-2 激光加工简介 | 第8-9页 |
| 1-3 激光太阳能硅片划槽加工相近领域“激光打标”的发展 | 第9-12页 |
| 1-4 太阳能硅晶片现状 | 第12-13页 |
| 1-5 本课题研究的意义与内容 | 第13-15页 |
| 第二章 双线划槽机激光器原理及组成 | 第15-32页 |
| 2-1 激光原理 | 第15-20页 |
| 2-1-1 原子的能级分布 | 第15-16页 |
| 2-1-2 粒子数反转 | 第16-20页 |
| 2-2 激光器的组成 | 第20-31页 |
| 2-2-1 Nd:YAG 晶体 | 第20-23页 |
| 2-2-2 连续氪灯 | 第23-26页 |
| 2-2-3 谐振腔 | 第26-31页 |
| 2-3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 太阳能硅晶片双束激光双线划槽机的研制 | 第32-40页 |
| 3-1 双束激光双线划槽机组装图 | 第32-33页 |
| 3-2 组成设备 | 第33-38页 |
| 3-2-1 激光电源 | 第33-34页 |
| 3-2-2 声光Q 开关电源 | 第34-37页 |
| 3-2-3 水循环冷却系统 | 第37-38页 |
| 3-3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 划槽机的方案设计与实验 | 第40-59页 |
| 4-1 整体方案 | 第40-41页 |
| 4-2 Z 型腔设计 | 第41-51页 |
| 4-2-1 传播圆图解方法 | 第41-42页 |
| 4-2-2 高斯光束的特性与传输变化 | 第42-44页 |
| 4-2-3 热动力学图解分析 | 第44-50页 |
| 4-2-4 激光谐振腔的稳定性 | 第50-51页 |
| 4-3 激光聚焦系统 | 第51-54页 |
| 4-4 太阳能硅晶片划槽实验 | 第54-58页 |
| 4-5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-61页 |
| 5-1 主要结论 | 第59页 |
| 5-2 未来展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64页 |