| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1-1 引言 | 第10-11页 |
| 1-2 微波功率放大器主要技术指标 | 第11-14页 |
| 1-2-1 工作频带 | 第11页 |
| 1-2-2 输出功率 | 第11页 |
| 1-2-3 输出功率和功率附加效率 | 第11页 |
| 1-2-4 输入输出驻波比 | 第11-12页 |
| 1-2-5 交调失真 | 第12-14页 |
| 1-3 国内外相关领域的发展现状 | 第14-16页 |
| 第二章 HFET 的基本原理 | 第16-19页 |
| 2-1 引言 | 第16页 |
| 2-2 基本工作原理 | 第16-17页 |
| 2-3 HFET 的电压-电流特性 | 第17-18页 |
| 2-4 HFET 中的散射机构 | 第18-19页 |
| 第三章 管芯的工艺设计 | 第19-24页 |
| 3-1 光刻工艺 | 第19-20页 |
| 3-2 栅挖槽工艺 | 第20-21页 |
| 3-3 栅偏源结构 | 第21页 |
| 3-4 T 形栅的制作 | 第21-22页 |
| 3-5 器件的钝化技术 | 第22-23页 |
| 3-6 欧姆接触工艺技术 | 第23-24页 |
| 第四章 内匹配技术 | 第24-45页 |
| 4-1 匹配元件 | 第24-32页 |
| 4-1-1 集总电感和电容 | 第24-25页 |
| 4-1-2 高低阻抗线和λ_e／8微带线节 | 第25-26页 |
| 4-1-3 功分器和合成器 | 第26-27页 |
| 4-1-4 λ_e／4 和不定长度微带线 | 第27-29页 |
| 4-1-5 阻抗渐变线 | 第29-30页 |
| 4-1-6 滤波器 | 第30-32页 |
| 4-2 内匹配电路的结构 | 第32-34页 |
| 4-3 CAD 设计 | 第34-38页 |
| 4-3-1 HFET非线性元件 | 第34页 |
| 4-3-2 建立HFET模型 | 第34-36页 |
| 4-3-3 匹配电路的优化与仿真 | 第36-38页 |
| 4-4 标准化管壳设计 | 第38-41页 |
| 4-4-1 微波封装的特点 | 第38-39页 |
| 4-4-2 电学特性 | 第39页 |
| 4-4-3 热学特性 | 第39-40页 |
| 4-4-4 管壳结构 | 第40-41页 |
| 4-5 测试技术 | 第41-45页 |
| 4-5-1 直流参数 | 第41-42页 |
| 4-5-2 直流偏置 | 第42页 |
| 4-5-3 测试夹具的设计与实现 | 第42-44页 |
| 4-5-4 测试系统结构 | 第44-45页 |
| 第五章 Ku波段15W GaAs微波功率器件的实现 | 第45-49页 |
| 5-1 单胞内匹配器件的性能 | 第45-46页 |
| 5-2 两胞合成内匹配器件的设计与实现 | 第46-49页 |
| 5-2-1 两胞合成内匹配器件的直流特性 | 第47页 |
| 5-2-2 两胞合成内匹配器件的微波特性 | 第47-49页 |
| 第六章 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第54页 |