超薄大直径太阳能级硅片线切割工艺及其悬浮液特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·全球能源形势 | 第8-12页 |
| ·能源危机 | 第8页 |
| ·中国的常规能源和可再生能源 | 第8-10页 |
| ·世界光伏工业的发展 | 第10-11页 |
| ·中国光伏产业发展状况 | 第11-12页 |
| ·太阳电池的发展 | 第12-15页 |
| ·太阳能的优势 | 第12页 |
| ·太阳电池发展历史和现状 | 第12-13页 |
| ·太阳电池的研究概况 | 第13-14页 |
| ·太阳电池的分类 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第15页 |
| 参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 传统半导体晶片加工方式 | 第17-36页 |
| ·硅片加工发展状况 | 第17-19页 |
| ·半导体产业的飞速发展对硅片的要求 | 第17页 |
| ·传统硅片加工工艺 | 第17-19页 |
| ·硅片切割工艺 | 第19-22页 |
| ·硅片制造工序 | 第19页 |
| ·内圆切割法 | 第19-20页 |
| ·线切割技术 | 第20-21页 |
| ·内圆切割和线切割的加工能力比较 | 第21-22页 |
| ·多线切割机 | 第22-35页 |
| ·线切割机的工作原理及特性 | 第22-23页 |
| ·多线切割机系统分析 | 第23-26页 |
| ·多线切割机机械结构 | 第26-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章 线切割工艺与硅片表面质量的研究 | 第36-46页 |
| ·线切割工序 | 第36-39页 |
| ·粘硅棒 | 第36页 |
| ·定向 | 第36-38页 |
| ·线切割步骤 | 第38-39页 |
| ·砂浆回收系统及其对硅片表面质量影响研究 | 第39-42页 |
| ·砂浆回收系统 | 第39-40页 |
| ·砂浆科学配比 | 第40-41页 |
| ·SiC 粒度分析 | 第41-42页 |
| ·线切割后硅片表面损伤层研究 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第四章 切割工艺中悬浮液特性研究 | 第46-53页 |
| ·悬浮液特性 | 第46-47页 |
| ·悬浮液性能分析 | 第46-47页 |
| ·切割机理分析 | 第47页 |
| ·悬浮液的粘温特性 | 第47-50页 |
| ·悬浮液的粘温特性 | 第47-48页 |
| ·粘度测量实验 | 第48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-50页 |
| ·悬浮液pH 测量研究 | 第50-51页 |
| ·实验 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第五章 线切割技术优势分析 | 第53-62页 |
| ·线切割方式 | 第53-54页 |
| ·线切割优势分析 | 第54-60页 |
| ·切片效率分析 | 第54-55页 |
| ·切损分析 | 第55-57页 |
| ·硅片表面质量参数分析 | 第57-60页 |
| ·小结 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第64页 |
