微电铸工艺参数对模具质量影响研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1．1 研究背景 | 第9-11页 |
| 1．1．1 课题的提出 | 第9-10页 |
| 1．1．2 课题的来源 | 第10-11页 |
| 1．2 微电铸的发展及其技术特点 | 第11-14页 |
| 1．2．1 电铸技术的发展概况 | 第11页 |
| 1．2．2 电铸技术的特点 | 第11-13页 |
| 1．2．3 微电铸技术的特点 | 第13-14页 |
| 1．2．4 微电铸技术的应用 | 第14页 |
| 1．3 研究现状 | 第14-18页 |
| 1．3．1 LIGA工艺研究 | 第14-16页 |
| 1．3．2 光刻工艺研究 | 第16-17页 |
| 1．3．3 微电铸工艺研究 | 第17-18页 |
| 1．4 课题研究内容 | 第18-19页 |
| 1．5 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 微电铸技术理论 | 第20-35页 |
| 2．1 电化学基本理论 | 第20-27页 |
| 2．1．1 法拉第定律 | 第20-21页 |
| 2．1．2 电极电势 | 第21-22页 |
| 2．1．3 电极极化 | 第22-23页 |
| 2．1．4 电极/溶液界面双电层 | 第23-24页 |
| 2．1．5 液相传质 | 第24-26页 |
| 2．1．6 金属电结晶 | 第26-27页 |
| 2．2 微电铸工艺 | 第27-33页 |
| 2．2．1 基底材料及微电铸材料的选择 | 第27-28页 |
| 2．2．2 微电铸基底的前处理 | 第28页 |
| 2．2．3 微电铸镍的溶液成分 | 第28-29页 |
| 2．2．4 微电铸的工作条件 | 第29-33页 |
| 2．3 微电铸工艺实验设备 | 第33-34页 |
| 2．4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 模具制作工艺路线研究 | 第35-49页 |
| 3．1 微流控芯片的制作技术 | 第35页 |
| 3．2 热压模具的制作技术 | 第35-37页 |
| 3．3 热压模具制作的工艺实验 | 第37-44页 |
| 3．3．1 硅模具工艺 | 第37-40页 |
| 3．3．2 背板生长工艺 | 第40-41页 |
| 3．3．3 无背板生长工艺 | 第41-43页 |
| 3．3．4 热压模具制作工艺路线的确定 | 第43-44页 |
| 3．4 析氢现象研究 | 第44-48页 |
| 3．4．1 析氢现象的机理 | 第44-46页 |
| 3．4．2 析氢现象的危害 | 第46页 |
| 3．4．3 析氢现象的解决 | 第46-48页 |
| 3．5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 模具形状精度研究 | 第49-67页 |
| 4．1 模具图形及测量方法 | 第49-50页 |
| 4．2 模具宽度研究 | 第50-56页 |
| 4．2．1 模具宽度变化的原因 | 第50-51页 |
| 4．2．2 胶模热溶胀性规律研究 | 第51-53页 |
| 4．2．3 实验结果分析 | 第53-56页 |
| 4．3 模具高度研究 | 第56-65页 |
| 4．3．1 铸层高度生长基本规律 | 第56-59页 |
| 4．3．2 铸层高度不均匀性产生的原因 | 第59-61页 |
| 4．3．3 铸层高度不均匀性的解决措施 | 第61-62页 |
| 4．3．4 实验结果分析 | 第62-65页 |
| 4．4 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 模具性能研究 | 第67-78页 |
| 5．1 模具铸层表面粗糙度研究 | 第67-69页 |
| 5．1．1 表面粗糙度的评定参数 | 第67-68页 |
| 5．1．2 表面粗糙度的测量方法 | 第68-69页 |
| 5．1．3 表面粗糙度的测量结果 | 第69页 |
| 5．2 模具结合力的研究 | 第69-77页 |
| 5．2．1 模具结合力的工作原理 | 第70-71页 |
| 5．2．2 模具结合力测量方法 | 第71-75页 |
| 5．2．3 模具结合力的测量实验 | 第75-77页 |
| 5．3 本章小结 | 第77-78页 |
| 6 结论与展望 | 第78-80页 |
| 6．1 结论 | 第78-79页 |
| 6．2 展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第87页 |
