| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-32页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·微阵列分析技术的原理、发展与应用 | 第8-22页 |
| ·微阵列分析技术的原理 | 第9-10页 |
| ·微阵列的制作方法 | 第10-15页 |
| ·微阵列分析技术的发展与应用 | 第15-22页 |
| ·微喷阵列系统的特点及发展 | 第22-30页 |
| ·微喷阵列系统的概念 | 第22页 |
| ·微喷阵列系统的特点 | 第22-23页 |
| ·微喷阵列系统的发展 | 第23-30页 |
| ·微喷阵列系统的应用和展望 | 第30页 |
| ·本工作的研究思路 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第二章 微喷阵列系统的总体设计 | 第32-40页 |
| ·微喷阵列系统的设计要求 | 第32-33页 |
| ·微喷阵列系统的结构 | 第33-39页 |
| ·微阵列制作装置 | 第34-38页 |
| ·微阵列分析软件 | 第38-39页 |
| ·微喷阵列系统进行微阵列分析的过程 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 微喷阵列芯片的设计与实现 | 第40-63页 |
| ·微喷阵列芯片的结构设计 | 第40-44页 |
| ·基于两层结构的微喷阵列芯片的制作 | 第44-55页 |
| ·基于两层结构的SU-8微喷阵列芯片的制作 | 第44-50页 |
| ·基于两层结构的硅微喷阵列芯片的制作 | 第50-55页 |
| ·基于三层结构的微喷阵列芯片的制作 | 第55-59页 |
| ·基于三层结构的SU-8微喷阵列芯片的制作 | 第55-56页 |
| ·基于三层结构和间隙环结构的硅微喷阵列芯片的制作 | 第56-59页 |
| ·微喷阵列芯片表面处理 | 第59-62页 |
| ·SU-8芯片表面处理 | 第59-61页 |
| ·硅芯片的表面处理 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 驱动控制系统的设计与制作 | 第63-72页 |
| ·驱动方式的选择 | 第63-66页 |
| ·几种驱动形式介绍 | 第63-65页 |
| ·微喷阵列系统驱动方式的选择 | 第65-66页 |
| ·气压驱动控制装置的设计与改进 | 第66-70页 |
| ·双阀控制结构 | 第66-67页 |
| ·三阀控制结构 | 第67-68页 |
| ·四阀控制结构 | 第68-69页 |
| ·控制软件的编写 | 第69-70页 |
| ·气压施加方式 | 第70-71页 |
| ·基于整片表面加压方式 | 第70页 |
| ·基于贮液池区域加压方式 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 微喷阵列系统的性能测试 | 第72-101页 |
| ·基于两层结构的SU-8微喷阵列芯片的测试 | 第72-83页 |
| ·工作原理 | 第72-73页 |
| ·进样测试 | 第73-74页 |
| ·喷样测试 | 第74-83页 |
| ·小结 | 第83页 |
| ·基于三层结构的SU-8微喷阵列芯片的测试 | 第83-88页 |
| ·工作原理 | 第83-84页 |
| ·进样测试 | 第84-86页 |
| ·喷样测试 | 第86-88页 |
| ·小结 | 第88页 |
| ·基于三层结构和间隙环结构的硅微喷阵列芯片的测试 | 第88-99页 |
| ·工作原理 | 第88页 |
| ·进样测试 | 第88-90页 |
| ·喷样测试 | 第90-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| ·三种微喷阵列芯片的性能测试比较 | 第99-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第六章 微喷阵列系统的应用研究 | 第101-114页 |
| ·微喷阵列系统在DNA微阵列芯片方面的应用 | 第101-105页 |
| ·基于尼龙膜的DNA微阵列显色检测技术 | 第101-102页 |
| ·微喷阵列系统进行DNA微阵列分析 | 第102-105页 |
| ·微喷阵列系统在蛋白质微阵列芯片方面的应用 | 第105-113页 |
| ·基于尼龙膜的蛋白质微阵列显色检测技术 | 第105-106页 |
| ·微喷阵列系统进行蛋白质微阵列分析 | 第106-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第七章 总结和展望 | 第114-117页 |
| 参考文献 | 第117-124页 |
| 发表文章 | 第124-125页 |
| 已申请专利 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 作者简介 | 第127-128页 |
| 附件 中国科学院上海微系统与信息技术研究所学位论文独创性声明及使用授权声明文本 | 第128页 |