| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-8页 |
| 第二章 文献综述 | 第8-29页 |
| 2．1 引言 | 第8页 |
| 2．2 氧化锌的性质 | 第8-11页 |
| 2．2．1 氧化锌的晶体结构 | 第8-9页 |
| 2．2．2 氧化锌的光电性质 | 第9-10页 |
| 2．2．3 氧化锌的气敏，压敏和压电性质 | 第10-11页 |
| 2．3 氧化锌的应用 | 第11-18页 |
| 2．3．1 氧化锌在低辐射玻璃上的应用 | 第11-16页 |
| 2．3．1．1 低辐射玻璃的发展 | 第11-12页 |
| 2．3．1．2 低辐射膜玻璃的分类 | 第12-14页 |
| 2．3．1．3 半导体单层膜低辐射玻璃 | 第14-16页 |
| 2．3．2 氧化锌在紫外探测器上的应用 | 第16页 |
| 2．3．3 氧化锌在声表面波器件上的应用 | 第16-17页 |
| 2．3．4 氧化锌在太阳能电池上的应用 | 第17页 |
| 2．3．5 氧化锌在LED上的应用 | 第17-18页 |
| 2．4 常用的薄膜制备技术 | 第18-27页 |
| 2．4．1 真空蒸发镀膜法 | 第18-19页 |
| 2．4．2 真空溅射镀膜法 | 第19页 |
| 2．4．3 磁控电子阴极真空溅射镀膜法 | 第19-20页 |
| 2．4．4 电浮法镀膜 | 第20页 |
| 2．4．5 化学气相沉积法(CVD) | 第20-21页 |
| 2．4．6 溶胶-凝胶法镀膜 | 第21-22页 |
| 2．4．7 喷雾热解法 | 第22-24页 |
| 2．4．8 粉末喷涂法 | 第24-25页 |
| 2．4．9 激光脉冲沉积法 | 第25-26页 |
| 2．4．10 分子束外延(MBE) | 第26-27页 |
| 2．5 选题角度的确定 | 第27-29页 |
| 第三章 超声喷雾热解实验装置的设计和原理 | 第29-44页 |
| 3．1 引言 | 第29页 |
| 3．2 超声喷雾热解技术的简介 | 第29-30页 |
| 3．3 超声喷雾热解技术的优点 | 第30-32页 |
| 3．4 对实验用分散系统的改进 | 第32-34页 |
| 3．5 热解沉积原理 | 第34-36页 |
| 3．6 超声喷雾热解实验系统 | 第36-38页 |
| 3．7 试样制备过程 | 第38-39页 |
| 3．7．1 主要原料 | 第38页 |
| 3．7．2 前驱体溶液的配制 | 第38页 |
| 3．7．3 衬底的清洗 | 第38页 |
| 3．7．4 实验样品的制备 | 第38-39页 |
| 3．8 薄膜分析与测试方法 | 第39-42页 |
| 3．8．1 X射线衍射(XRD) | 第39-40页 |
| 3．8．2 扫描电子显微镜(SEM) | 第40-41页 |
| 3．8．3 透射电镜(TEM) | 第41页 |
| 3．8．4 紫外-可见光谱测试 | 第41-42页 |
| 3．8．5 薄膜厚度测定 | 第42页 |
| 3．9 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 工艺参数对氧化锌薄膜微观结构和形貌的影响及成膜机理分析 | 第44-61页 |
| 4．1 引言 | 第44页 |
| 4．2 XRD分析 | 第44-49页 |
| 4．2．1 衬底温度对薄膜结晶性的影响 | 第46-47页 |
| 4．2．2 不同前驱体浓度对薄膜结晶性的影响 | 第47-49页 |
| 4．3 SEM表面形貌分析 | 第49-57页 |
| 4．3．1 基板温度对薄膜形貌的影响 | 第49-52页 |
| 4．3．2 前驱体溶液的薄膜微观形貌的影响 | 第52-54页 |
| 4．3．3 去离子水和乙醇的比例对薄膜的影响 | 第54-57页 |
| 4．4 观察到的独特的表面线状氧化锌的形态 | 第57-59页 |
| 4．5 氧化锌薄膜成膜机理分析 | 第59-61页 |
| 第五章 工艺参数对氧化锌薄膜光学性能的影响 | 第61-66页 |
| 5．1 引言 | 第61页 |
| 5．2 紫外-可见光谱测试 | 第61-66页 |
| 5．2．1 衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第61-63页 |
| 5．2．2 前驱体浓度对薄膜光学性能的影响 | 第63-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 研究生期间发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |