| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-16页 |
| 1．1 椭偏测量术的重要性 | 第9页 |
| 1．2 椭偏测量术概论 | 第9-10页 |
| 1．3 椭偏测量术的产生、发展与应用 | 第10-14页 |
| 1．4 本论文研究的主要内容及意义 | 第14-16页 |
| 第二章 椭圆偏振测量仪的原理 | 第16-29页 |
| 2．1 椭圆偏振测量概述 | 第16-17页 |
| 2．2 椭圆偏振测量理论 | 第17-24页 |
| 2．3 光度法测量 原理 | 第24-25页 |
| 2．4 消光法测量原理 | 第25-28页 |
| 2．5 混合法测量原理 | 第28-29页 |
| 第三章 椭圆偏振测量仪的组成及器件选择 | 第29-43页 |
| 3．1 椭圆偏振测量仪的硬件结构组成 | 第29-36页 |
| 3．2 光学器件选择 | 第36-40页 |
| 3．3 光机系统安装与调试 | 第40-41页 |
| 3．4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 测量方法及反演算法的改进 | 第43-58页 |
| 4．1 提高椭偏测量的的准确度方法 | 第43-46页 |
| 4．2 偏振器消光 比对准确度的影 响及其修正方法 | 第46-48页 |
| 4．3 提高椭偏参数(Ψ、△)的测量精度 | 第48-50页 |
| 4．4 有效选取模型的方法 | 第50-54页 |
| 4．5 选择好的优化算法反演椭偏方程 | 第54-57页 |
| 4．6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 系统软件设计 | 第58-68页 |
| 5．1 系统软件结构概述 | 第58页 |
| 5．2 软件功能及用户界面设计 | 第58-67页 |
| 5．3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 系统试验研究与结果分析 | 第68-80页 |
| 6．1 光度法测量实验 | 第68-75页 |
| 6．2 混合法测量实验 | 第75-76页 |
| 6．3 系统稳定性测试 | 第76-79页 |
| 6．4 两种测量方法比较 | 第79页 |
| 6．5 结论 | 第79-80页 |
| 第七章 全文总结 | 第80-82页 |
| 7．1 论文工作成果 | 第80-81页 |
| 7．2 今后的工作 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |