高精度平面定位与控制技术的研究

第一章 绪  论	第1-14页
·研究背景及课题来源	第8页
·精密定位技术的发展与国内外研究现状	第8-13页
·高精度位置测量技术的发展现状	第9-12页
·精密驱动机构的发展现状	第12-13页
·本课题的研究内容	第13-14页
第二章 系统原理分析与总体设计	第14-32页
·双光栅衍射的数学模型	第14-19页
·摩尔条纹的衍射原理	第14-15页
·透射式双级衍射光栅系统的理论分析	第15-19页
·系统总体方案设计	第19-30页
·光路系统设计	第19-21页
·定位台与步进驱动机构	第21-25页
·光电检测电路设计	第25-29页
·运算控制设备	第29-30页
·系统软件设计	第30-32页
第三章 平面定位技术的研究	第32-45页
·平面定位问题的提出	第32页
·直线定位技术	第32-38页
·差动光栅原理及其在直线定位技术中的应用	第32-34页
·直线定位技术的控制方案	第34-36页
·直线定位的实现	第36-38页
·平面定位技术	第38-45页
·平面定位的控制方案	第38-42页
·平面定位技术的实现	第42-43页
·系统精度分析及抗干扰措施	第43-45页
第四章 精密定位的控制技术	第45-61页
·模糊控制原理及其实现	第45-48页
·模糊控制的基本原理	第45-46页
·精密定位系统模糊控制器的设计	第46-48页
·实验结果	第48页
·人工神经元网络的原理及BP网的结构形式	第48-58页
·人工神经元网络的产生与发展	第48-50页
·人工神经元模型	第50-52页
·网络结构及工作方式	第52-53页
·BP网络的结构形式及学习算法	第53-58页
·人工神经网络控制的实现	第58-61页
第五章 系统进一步研究的方向	第61-63页
·本课题研究内容的回顾与总结	第61页
·本课题进一步研究的方向	第61-63页
结束语	第63-64页
致谢	第64-65页
参考文献	第65-68页
作者在学期间所发表的论文清单	第68页