| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| ·碳氮基薄膜的研究意义及缺点 | 第9-12页 |
| ·碳氮基纳米复合膜 | 第12-14页 |
| ·纳米复合膜的结构及致硬机理 | 第12-13页 |
| ·Me-C-N纳米复合薄膜的研究现状 | 第13-14页 |
| ·碳氮基纳米多层膜 | 第14-18页 |
| ·纳米多层膜的结构及致硬机理 | 第14-17页 |
| ·MeN/CN_x纳米多层膜的研究现状 | 第17-18页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第18-22页 |
| ·薄膜的内应力 | 第18-19页 |
| ·薄膜的韧性 | 第19页 |
| ·薄膜硬度与弹性模量 | 第19-20页 |
| ·薄膜的摩擦磨损机理 | 第20-22页 |
| ·薄膜的物理气相沉积 | 第22-27页 |
| ·真空蒸发 | 第22页 |
| ·溅射(sputtering) | 第22-25页 |
| ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition) | 第25-26页 |
| ·离子束沉积(IBD)和离子束辅助沉积(IBAD) | 第26页 |
| ·离子注入(Ion Implantation) | 第26-27页 |
| ·薄膜生长过程 | 第27-28页 |
| ·本课题的立题依据和研究意义 | 第28-29页 |
| 第二章 实验方法 | 第29-35页 |
| ·基底准备 | 第29页 |
| ·薄膜制备 | 第29-32页 |
| ·磁控溅射设备 | 第29-30页 |
| ·磁控溅射镀膜过程 | 第30-32页 |
| ·薄膜的结构及性能测试 | 第32-33页 |
| ·物相分析 | 第32-33页 |
| ·形貌分析 | 第33页 |
| ·组织结构分析 | 第33页 |
| ·薄膜的机械性能分析 | 第33-35页 |
| ·内应力分析 | 第33-34页 |
| ·纳米压痕测试 | 第34页 |
| ·压坑测试 | 第34页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第34-35页 |
| 第三章 TiCN纳米复合薄膜的组织结构与机械性能 | 第35-49页 |
| ·TiCN纳米复合膜的组织结构分析 | 第35-43页 |
| ·TiCN纳米复合膜的力学性能分析 | 第43-46页 |
| ·TiCN纳米复合膜的摩擦性能分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 TaN/a-CN_x多层膜组织结构与机械性能 | 第49-61页 |
| ·TaN/a-CN_x多层膜的组织结构分析 | 第49-52页 |
| ·力学性能的分析 | 第52-55页 |
| ·摩擦性能的分析 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 个人简历 | 第73-75页 |
| 攻读学位期间所取得的科研成果 | 第75页 |
