| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·透明导电薄膜简介 | 第10页 |
| ·ZnO的性质 | 第10-13页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO的光电性质 | 第11-12页 |
| ·ZnO的其他性质 | 第12-13页 |
| ·ZnO的点缺陷 | 第13-14页 |
| ·ZnO的本征点缺陷 | 第13页 |
| ·ZnO的非本征点缺陷 | 第13-14页 |
| ·ZnO的掺杂 | 第14页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的制备技术 | 第14-16页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第15页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第15页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第15-16页 |
| ·分子束外延 | 第16页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的应用 | 第16-18页 |
| ·平板显示 | 第16-17页 |
| ·太阳能电池 | 第17页 |
| ·面发热膜 | 第17-18页 |
| ·气敏传感器 | 第18页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的研究现状 | 第18-22页 |
| ·ZnO单层透明导电薄膜 | 第18-20页 |
| ·ZnO基多层透明导电薄膜 | 第20-21页 |
| ·柔性ZnO基多层透明导电薄膜 | 第21-22页 |
| ·本文的立体思路和研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验设备及原理、薄膜制备及性能表征 | 第24-30页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射原理 | 第25-26页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第26-28页 |
| ·制备靶材 | 第26-27页 |
| ·衬底清洗 | 第27页 |
| ·溅射镀膜 | 第27-28页 |
| ·性能表征 | 第28-30页 |
| 第三章 FZO透明导电薄膜的制备及性能优化 | 第30-42页 |
| ·气体总压强对FZO透明导电薄膜性能的影响 | 第31页 |
| ·溅射温度对FZO透明导电薄膜性能的影响 | 第31-36页 |
| ·溅射温度对FZO透明导电薄膜电学性能的影响 | 第32-33页 |
| ·溅射温度对FZO透明导电薄膜形貌结构的影响 | 第33-35页 |
| ·溅射温度对FZO透明导电薄膜光学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·H对ZNO基透明导电薄膜性能的影响 | 第36-39页 |
| ·小结 | 第39-42页 |
| 第四章 FZO/Ag/FZO多层膜的制备及性能优化 | 第42-58页 |
| ·FZO层厚度对多层膜性能的影响 | 第44-45页 |
| ·FZO层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜电学性能的影响 | 第44页 |
| ·FZO层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜光学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·Ag层厚度对多层膜性能的影响 | 第45-49页 |
| ·Ag层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜结构性能的影响 | 第45-47页 |
| ·Ag层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜电学性能的影响 | 第47页 |
| ·Ag层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜光学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·Ag层厚度对FZO/Ag/FZO多层膜品质因子的影响 | 第48-49页 |
| ·多层膜之间性能的对比分析 | 第49-53页 |
| ·多层膜之间电学性能的差异 | 第49-50页 |
| ·多层膜之间形貌结构的差异 | 第50-52页 |
| ·多层膜之间品质因子的差异 | 第52-53页 |
| ·多层膜的性能稳定性 | 第53-55页 |
| ·多层膜的欧姆接触特性 | 第55-56页 |
| ·小结 | 第56-58页 |
| 第五章 柔性衬底上制备FZO/Ag/FZO透明导电薄膜及性能优化 | 第58-66页 |
| ·Ag层的溅射时间对柔性多层膜的性能影响 | 第59-64页 |
| ·Ag层溅射时间对柔性FZO/Ag/FZO多层膜结构性能的影响 | 第59-61页 |
| ·Ag层溅射时间对柔性FZO/Ag/FZO多层膜电学性能的影响 | 第61-62页 |
| ·Ag层溅射时间对柔性FZO/Ag/FZO多层膜光学性能的影响 | 第62-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 第六章 结论与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 个人简历 | 第76-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第78页 |
