| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| ·研究目的和意义 | 第12-14页 |
| ·产业背景 | 第12页 |
| ·ZnO研究的兴起 | 第12-13页 |
| ·ZnO的特性及应用 | 第13-14页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第14-23页 |
| ·ZnO的基本物理性质 | 第14-16页 |
| ·ZnO的晶格结构 | 第16-18页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第18-20页 |
| ·ZnO的激子发光 | 第20-22页 |
| ·ZnO的缺陷发光 | 第22-23页 |
| ·ZnO主要研究热点 | 第23-27页 |
| ·p型ZnO的研究 | 第23-25页 |
| ·ZnO基稀磁半导体的研究 | 第25-26页 |
| ·纳米ZnO的研究 | 第26-27页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 ZnO薄膜的制备系统与光学测量 | 第29-37页 |
| ·ZnO薄膜的制备系统 | 第29-31页 |
| ·螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射系统 | 第29-30页 |
| ·脉冲激光沉积系统 | 第30-31页 |
| ·ZnO薄膜的磁光光谱测量 | 第31-35页 |
| ·法拉第效应检测ZnO薄膜的导电类型 | 第31-34页 |
| ·ZnO稀磁半导体薄膜的磁光透射谱 | 第34-35页 |
| ·ZnO薄膜的其他表征方法 | 第35-37页 |
| 第3章 自然掺杂p型ZnO薄膜的外延 | 第37-54页 |
| ·蓝宝石衬底的氮化温度对ZnO薄膜的影响 | 第37-47页 |
| ·蓝宝石衬底氮化条件的选取 | 第37-38页 |
| ·实验过程 | 第38-39页 |
| ·结构分析 | 第39-43页 |
| ·光学特性 | 第43-46页 |
| ·电学特性 | 第46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| ·蓝宝石衬底上的自然掺杂p型ZnO薄膜 | 第47-52页 |
| ·制备条件 | 第47页 |
| ·电学特性 | 第47-49页 |
| ·结构分析 | 第49-51页 |
| ·光学特性 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 Al-N共掺p型ZnO薄膜制备及形成机理 | 第54-73页 |
| ·引言 | 第54-56页 |
| ·共掺理论 | 第54-55页 |
| ·选择Al-N共掺 | 第55页 |
| ·选择氮源 | 第55-56页 |
| ·Al-N共掺在Si衬底上实现p型ZnO薄膜 | 第56-62页 |
| ·制备条件 | 第56页 |
| ·晶格结构 | 第56-57页 |
| ·表面形貌 | 第57-58页 |
| ·电学特性 | 第58-59页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第59-62页 |
| ·小结 | 第62页 |
| ·不同N_2流量对n-Si上A1-N共掺ZnO薄膜的影响 | 第62-72页 |
| ·实验条件 | 第62-63页 |
| ·结构分析 | 第63-64页 |
| ·电学性质 | 第64-65页 |
| ·Raman光谱 | 第65-69页 |
| ·室温光致发光谱 | 第69-70页 |
| ·低温光致发光谱 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 Mn-N共掺ZnO薄膜制备及其磁学和光学特性研究 | 第73-79页 |
| ·Mn-N共掺ZnO薄膜的制备 | 第73页 |
| ·Mn-N共掺ZnO薄膜的特性分析 | 第73-77页 |
| ·结构分析 | 第73-74页 |
| ·磁性分析 | 第74-75页 |
| ·Raman光谱分析 | 第75-76页 |
| ·紫外-可见透射光谱分析 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第6章 Mn掺杂ZnO薄膜制备及其磁学和电学特性研究 | 第79-96页 |
| ·Mn掺杂ZnO薄膜的制备 | 第79页 |
| ·靶材制备 | 第79页 |
| ·实验条件 | 第79页 |
| ·Mn掺杂ZnO薄膜的特性分析 | 第79-86页 |
| ·结构分析 | 第79-81页 |
| ·表面形貌 | 第81-82页 |
| ·磁性表征 | 第82-83页 |
| ·光学性质 | 第83-86页 |
| ·Raman光谱 | 第86-90页 |
| ·电学性质 | 第90-92页 |
| ·室温光致发光谱 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 结束语 | 第96-99页 |
| 参考文献 | 第99-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果 | 第107页 |
