真空退火条件下掺铬类石墨碳膜微观组织和性能的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·非晶碳膜的发展与应用 | 第8-11页 |
| ·非晶碳膜的结构 | 第8-10页 |
| ·非晶碳膜的发展现状 | 第10-11页 |
| ·类石墨(GLC)镀层的发展、性能及应用 | 第11-12页 |
| ·掺杂非晶碳膜 | 第12-13页 |
| ·磁控溅射镀膜技术简介 | 第13-17页 |
| ·磁控溅射技术的发展和现状 | 第13-14页 |
| ·磁控溅射镀膜的基本原理 | 第14-15页 |
| ·闭合场非平衡磁控溅射镀膜技术 | 第15-17页 |
| ·非晶碳膜的热稳定性 | 第17-18页 |
| ·课题的研究目的、意义及内容 | 第18-19页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第18页 |
| ·课题研究内容 | 第18-19页 |
| ·技术路线 | 第19-20页 |
| 2 实验设备和实验方法 | 第20-27页 |
| ·实验材料及试样预处理 | 第20页 |
| ·实验研究中镀层的制备 | 第20-21页 |
| ·镀膜设备 | 第20-21页 |
| ·镀膜工艺 | 第21页 |
| ·真空退火处理 | 第21-22页 |
| ·镀层的检测 | 第22-27页 |
| ·镀层性能检测 | 第22-25页 |
| ·镀层成分及微观组织分析 | 第25-27页 |
| 3 真空退火条件下GLC镀层的成分和微观组织分析 | 第27-42页 |
| ·GLC镀层的化学成分分析 | 第27-31页 |
| ·不同退火温度下GLC镀层中的元素种类及含量 | 第27-29页 |
| ·不同退火温度下GLC镀层中C原子的化学状态分析 | 第29-31页 |
| ·GLC镀层的微观组织分析 | 第31-41页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层表面形貌的影响 | 第32-33页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层截面形貌的影响 | 第33-35页 |
| ·不同退火温度下GLC镀层的XRD分析 | 第35-36页 |
| ·GLC镀层微观组织的TEM分析 | 第36-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 类石墨镀层性能的实验研究 | 第42-54页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层厚度的影响 | 第42-44页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层硬度的影响 | 第44-45页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层膜基结合性能的影响 | 第45-48页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层摩擦磨损性能的影响 | 第48-52页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层摩擦系数的影响 | 第48-50页 |
| ·不同真空退火温度对GLC镀层比磨损率的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 5 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |
