计算全息对准方法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·研究背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究状况 | 第8页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第8-9页 |
| 2 非球面概述 | 第9-17页 |
| ·非球面的定义 | 第9-10页 |
| ·非球面的重要性质 | 第10-11页 |
| ·非球面的法线性质 | 第10页 |
| ·非球面度 | 第10-11页 |
| ·非球面检测的一些常用方法 | 第11-16页 |
| ·刀口阴影法 | 第11-12页 |
| ·郎奇光栅法 | 第12-13页 |
| ·轮廓检测法 | 第13-14页 |
| ·横向剪切干涉 | 第14页 |
| ·补偿检测法 | 第14-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 3 利用 CGH测量非球面 | 第17-23页 |
| ·CGH测量非球面原理 | 第17页 |
| ·CGH测量中需要了解的问题 | 第17-19页 |
| ·CGH的位相函数 | 第17-18页 |
| ·CGH的衍射特性 | 第18-19页 |
| ·条纹对比度 | 第19页 |
| ·CGH测量中误差源分析 | 第19-22页 |
| ·CGH的基底偏差 | 第20-21页 |
| ·CGH刻写条纹位置偏差 | 第21-22页 |
| ·CGH外形深度偏差 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 4 CGH对准方法 | 第23-30页 |
| ·进行CGH对准的必要性 | 第23页 |
| ·常见的对准方法 | 第23-29页 |
| ·反射式FZM环带校准法 | 第23-25页 |
| ·扇形环带校准法 | 第25-27页 |
| ·自准式CGH校准法 | 第27-28页 |
| ·透射式FZL环带校准法 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 5 CGH对准理论与实验分析 | 第30-50页 |
| ·CGH对准的理论分析计算 | 第30-34页 |
| ·CGH失调量与补偿区像差的关系 | 第30-32页 |
| ·CGH波差容限内最大失调量计算分析 | 第32-34页 |
| ·CGH对准仿真分析 | 第34-46页 |
| ·CGH自由度分析 | 第34-38页 |
| ·调整量灵敏度分析 | 第38-46页 |
| ·CGH对准实验结果与分析 | 第46-50页 |
| ·实验装置与实验过程 | 第46-47页 |
| ·实验结果 | 第47-48页 |
| ·对准环分辨极限 | 第48-50页 |
| 6 总结 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
