摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
目录 | 第5-7页 |
1 绪论 | 第7-9页 |
·课题研究背景及目的意义 | 第7-8页 |
·本论文的主要工作 | 第8-9页 |
2 非球面检测技术概述 | 第9-21页 |
·非球面的定义 | 第9-10页 |
·非球面的光学性质 | 第10-12页 |
·与法线有关的重要性质 | 第10-11页 |
·非球面的非球面度 | 第11-12页 |
·非球面的检测技术 | 第12-20页 |
·非球面的检测要求 | 第12-13页 |
·非球面的检测方法 | 第13页 |
·非零位检测法 | 第13-16页 |
·零位检测法 | 第16-20页 |
·本章小结 | 第20-21页 |
3 基于CGH的泰曼格林型干涉仪检测非球面原理 | 第21-35页 |
·同轴全息图和离轴全息图 | 第21-24页 |
·计算全息干涉图的基本原理 | 第24-31页 |
·计算全息干涉术的基本原理 | 第24-26页 |
·计算全息二元化原理 | 第26-27页 |
·计算全息的制作 | 第27-31页 |
·CGH与零位光学系统组合补偿法(基于泰曼-格林系统)的讨论 | 第31-33页 |
·CGH放在测试臂上的泰曼-格林干涉仪 | 第31-32页 |
·CGH放在观察臂上的泰曼-格林干涉仪 | 第32-33页 |
·本章小结 | 第33-35页 |
4 观察臂上加入CGH的泰曼-格林干涉仪系统的设计 | 第35-49页 |
·检测系统的理论分析 | 第35-38页 |
·系统原理 | 第35-36页 |
·理论分析 | 第36-38页 |
·检测系统的设计 | 第38-47页 |
·被检测凹非球面的参数和特性 | 第38-39页 |
·加入同轴型CGH的泰曼-格林干涉系统的设计 | 第39-43页 |
·加入离轴型CGH的泰曼格林系统设计 | 第43-47页 |
·CGH的定位对系统的影响 | 第47-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
5 离轴型CGH在泰曼格林系统中的非球面测量实验 | 第49-57页 |
·实验装置调整 | 第49-50页 |
·非球面的检测实验 | 第50-56页 |
·离轴型CGH及其衍射级次分布图 | 第50-51页 |
·不偏轴下的平面与标准球面测试 | 第51-53页 |
·偏轴时的非球面测试 | 第53-56页 |
·CGH位置偏差对系统影响的实验 | 第56页 |
·本章小结 | 第56-57页 |
6 全文总结 | 第57-59页 |
·本文的主要工作 | 第57-58页 |
·展望 | 第58-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-62页 |