| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-40页 |
| ·碳氮基薄膜的研究意义 | 第14-15页 |
| ·本征碳氮薄膜 | 第15-25页 |
| ·晶态β-C_3N_4 | 第15-18页 |
| ·非晶结构碳氮薄膜 | 第18-20页 |
| ·类富勒烯结构碳氮膜 | 第20-23页 |
| ·碳氮薄膜的应用前景 | 第23-24页 |
| ·碳氮薄膜的缺点 | 第24-25页 |
| ·碳氮基纳米多层膜 | 第25-32页 |
| ·碳氮基过渡金属氮化物纳米多层膜 | 第26-27页 |
| ·碳氮基过渡金属氮化物梯度纳米多层膜 | 第27-28页 |
| ·碳氮纳米多层膜 | 第28页 |
| ·纳米多层膜的超硬机理借鉴 | 第28-32页 |
| ·过渡金属钛-碳-氮复合膜 | 第32-33页 |
| ·超硬纳米复合膜 | 第32页 |
| ·复合膜强化机制 | 第32-33页 |
| ·掺钛碳氮复合膜研究现状 | 第33页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第33-35页 |
| ·薄膜的摩擦磨损机理 | 第33-35页 |
| ·薄膜硬度与弹性模量 | 第35页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第35-39页 |
| ·磁控溅射 | 第35-37页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第37页 |
| ·其它主要制备方法 | 第37-38页 |
| ·薄膜生长过程 | 第38-39页 |
| ·本论文的立题依据和研究内容 | 第39-40页 |
| 第二章 实验方法与制备技术 | 第40-46页 |
| ·基体处理 | 第40页 |
| ·基体准备 | 第40页 |
| ·基体清洗 | 第40页 |
| ·薄膜制备 | 第40-42页 |
| ·控溅射设备 | 第40-41页 |
| ·磁控溅射镀膜过程 | 第41-42页 |
| ·薄膜的微结构分析 | 第42-43页 |
| ·物相分析 | 第42页 |
| ·形貌分析 | 第42页 |
| ·组织结构分析 | 第42-43页 |
| ·薄膜的化学价键分析 | 第43页 |
| ·薄膜的机械性能分析 | 第43-46页 |
| ·内应力分析 | 第43-44页 |
| ·界面结合力测试 | 第44页 |
| ·纳米压痕和划擦测试 | 第44页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第44-45页 |
| ·电化学性能分析 | 第45-46页 |
| 第三章 本征碳氮薄膜的组织结构与性能 | 第46-76页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·非晶碳氮薄膜结构与性能 | 第47-54页 |
| ·非晶碳氮薄膜的形貌和组织结构 | 第47-49页 |
| ·工艺参数对非晶碳氮薄膜的结构影响 | 第49-51页 |
| ·非晶碳氮薄膜的机械性能 | 第51-54页 |
| ·纳米晶碳氮薄膜的结构与性能 | 第54-63页 |
| ·纳米晶碳氮薄膜的制备 | 第54-57页 |
| ·纳米晶碳氮薄膜的组织结构 | 第57-61页 |
| ·纳米晶碳氮膜的力学性能 | 第61-63页 |
| ·类富勒烯碳氮薄膜的结构与性能 | 第63-74页 |
| ·FL-CN_x碳氮膜的制备 | 第63页 |
| ·FL-CN_x碳氮膜的形貌与组织结构 | 第63-65页 |
| ·工艺参数对FL-CN_x碳氮薄膜的结构影响 | 第65-70页 |
| ·FL-CN_x膜的力学性能 | 第70-71页 |
| ·FL-CN_x碳氮膜的摩擦磨损性能 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第四章 磁控溅射碳氮基多层膜的结构与性能 | 第76-116页 |
| ·引言 | 第76-77页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的结构与性能 | 第77-86页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的制备 | 第77-78页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的形貌 | 第78-79页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的组织结构 | 第79-81页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的力学性能 | 第81-82页 |
| ·TiN/CN_X多层膜的摩擦磨损性能 | 第82-86页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的的界面与超硬效应 | 第86-95页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的制备 | 第86页 |
| ·碳氮/钛氮纳米多层膜的微结构 | 第86-92页 |
| ·TiN/CN_x多层膜的界面与超硬效应的实验分析 | 第92-95页 |
| ·CN_x/CN_x纳米多层膜的结构与性能 | 第95-105页 |
| ·CN_x/CN_x纳米多层膜的制备 | 第95页 |
| ·CN_x/CN_x纳米多层膜的组织结构 | 第95-97页 |
| ·CN_x/CN_x多层膜的力学性能 | 第97-100页 |
| ·CN_x/CN_x多层膜的纳米划擦行为 | 第100-105页 |
| ·梯度Ti-TiN/CN_x纳米多层膜结构与性能 | 第105-115页 |
| ·Ti/TiN/CN_x多层膜的制备 | 第105页 |
| ·Ti/TiN/CN_x多层膜的形貌与结构 | 第105-109页 |
| ·Ti-TiN/CN_x多层膜的硬度和弹性模量 | 第109-112页 |
| ·Ti-TiN/CN_x梯度多层膜的结合力 | 第112-113页 |
| ·Ti-TiN/CN_x多层膜的摩擦磨损性能 | 第113-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 第五章 含钛非晶碳氮薄膜的结构与性能 | 第116-128页 |
| ·引言 | 第116页 |
| ·含钛碳氮薄膜的微结构 | 第116-120页 |
| ·含钛碳氮薄膜的制备 | 第116-117页 |
| ·含钛碳氮薄膜的形貌 | 第117页 |
| ·含钛碳氮薄膜的组织结构 | 第117-120页 |
| ·含钛碳氮薄膜的力学性能 | 第120-124页 |
| ·含钛碳氮薄膜的硬度与弹性模量 | 第120-121页 |
| ·含钛碳氮薄膜的结合力 | 第121页 |
| ·钛碳氮薄膜的应力 | 第121-122页 |
| ·含钛碳氮薄膜的摩擦磨损性能 | 第122-124页 |
| ·含钛碳氮薄膜的电化学腐蚀性能 | 第124-127页 |
| ·含钛碳氮薄膜的电化学腐蚀行为 | 第124-126页 |
| ·含钛碳氮薄膜腐蚀后表面形貌 | 第126-127页 |
| ·本章小结 | 第127-128页 |
| 第六章 结论与展望 | 第128-132页 |
| ·总结 | 第128-130页 |
| ·本文创新点 | 第130页 |
| ·展望 | 第130-132页 |
| 参考文献 | 第132-150页 |
| 致谢 | 第150-152页 |
| 个人简历 | 第152-154页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第154-155页 |