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熔石英材料大气等离子体加工工艺研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-16页
   ·课题背景第8页
   ·本课题的研究目的及意义第8-9页
   ·国内外研究现状及综述第9-14页
     ·现有加工方法及存在问题第9-12页
     ·大气压下等离子体抛光技术发展现状第12-14页
   ·本课题主要研究内容第14-16页
第2章 大气等离子体加工系统设计第16-29页
   ·系统原理第16-20页
     ·等离子体的物理化学特性第16-17页
     ·等离子体表面材料去除的反应机理第17-18页
     ·大气等离子体的系统组成第18-20页
   ·大气等离子体发生装置改进第20-28页
     ·原系统同轴电极放电加工第20页
     ·平板放电炬结构第20-24页
     ·等离子体炬改进第24页
     ·新炬设计及其原子光谱分析第24-26页
     ·等离子体炬改进效果第26-28页
   ·系统加工成型机理第28页
   ·本章小结第28-29页
第3章 大气等离子体加工工艺过程研究及表面质量分析第29-45页
   ·加工系统的可控性验证第29-33页
     ·加工及测量方式选择第29-30页
     ·短时间内重复性验证实验第30-31页
     ·小扰动稳定性实验第31-33页
   ·去除量随时间变化特性第33-38页
     ·实验方案第33-34页
     ·去除量计算第34-35页
     ·最小二乘法第35-36页
     ·高斯—牛顿法第36页
     ·置信域优化第36-37页
     ·多次高斯拟合第37-38页
     ·实验结果第38页
   ·多参数工艺特性研究第38-42页
     ·实验结果及特性分析第38-40页
     ·工艺特性的原子光谱分析第40-42页
   ·等离子体加工对表面质量影响第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第4章 大气等离子体加工预测模型的建立与验证第45-55页
   ·工艺参数筛选第45-46页
   ·实验方案设计第46-48页
   ·去除函数模型的建立第48-53页
     ·公式拟合方法第48-50页
     ·拟合结果第50-53页
   ·公式验证第53-54页
   ·误差分析第54页
   ·本章小结第54-55页
结论第55-56页
参考文献第56-60页
致谢第60页

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