| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 插图目录 | 第12-14页 |
| 表格目录 | 第14-15页 |
| 符号说明 | 第15-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| ·化学机械抛光问题 | 第18-22页 |
| ·铁磁流体热传导问题 | 第22-24页 |
| ·Rayleigh-Taylor不稳定性问题 | 第24-25页 |
| ·本文的内容安排 | 第25-27页 |
| 第二章 预备知识 | 第27-41页 |
| ·常用记号 | 第27-29页 |
| ·Navier-Stokes方程组和Euler方程组 | 第29-31页 |
| ·本构关系与状态方程 | 第31-32页 |
| ·几种常见的差分格式 | 第32-41页 |
| 第三章 铁磁流体化学机械抛光模型问题 | 第41-77页 |
| ·CMP的工作原理和经典的CMP润滑流动模型 | 第41-46页 |
| ·CMP的工作原理 | 第41-42页 |
| ·经典的CMP润滑流动模型 | 第42-46页 |
| ·含离心力的铁磁流体CMP模型及其数值分析 | 第46-58页 |
| ·含离心力的铁磁流体CMP模型方程 | 第46-53页 |
| ·离散格式及其数值实验 | 第53-58页 |
| ·含对流效应的铁磁流体CMP模型及其数值分析 | 第58-72页 |
| ·含对流效应的普通流体CMP模型方程 | 第59-62页 |
| ·含对流效应的铁磁流体CMP模型方程 | 第62-66页 |
| ·离散格式及其数值实验 | 第66-72页 |
| ·影响铁磁流体CMP压力分布三个因素的比较 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第四章 铁磁流体热传导模型问题 | 第77-111页 |
| ·模型方程 | 第77-80页 |
| ·封闭方腔内的自然对流模型 | 第80-88页 |
| ·定解条件及其参数取值 | 第80-82页 |
| ·离散格式及其数值实验 | 第82-88页 |
| ·两平板间铁磁流体的热传导模型 | 第88-100页 |
| ·定解条件及其参数取值 | 第88-89页 |
| ·离散格式及其数值实验 | 第89-100页 |
| ·简化抛物化方程及其数值求解 | 第100-109页 |
| ·简化抛物化方程 | 第100-104页 |
| ·两平板间铁磁流体简化模型的数值求解 | 第104-109页 |
| ·本章小结 | 第109-111页 |
| 第五章 铁磁流体Rayleigh-Taylor不稳定性模型问题 | 第111-123页 |
| ·二维铁磁流体Rayleigh-Taylor不稳定性模型方程 | 第111-115页 |
| ·离散格式及其数值实验 | 第115-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 总结与展望 | 第123-125页 |
| 参考文献 | 第125-141页 |
| 致谢 | 第141-143页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第143页 |
