基于AFM的微纳尺度模板加工技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题来源和意义 | 第10-12页 |
| ·微纳尺度模板加工技术 | 第12-14页 |
| ·AFM纳米加工研究现状 | 第14-16页 |
| ·加工机理研究现状 | 第16-18页 |
| ·本文研究内容 | 第18-20页 |
| 2 AFM微纳尺度加工机理研究 | 第20-62页 |
| ·引言 | 第20-22页 |
| ·分子动力学仿真分析 | 第22-31页 |
| ·分子动力学模拟步骤 | 第31-37页 |
| ·AFM纳米压入分子动力学仿真 | 第37-49页 |
| ·AFM切削分子动力学仿真 | 第49-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 3 AFM加工系统及参数控制 | 第62-85页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·AFM加工系统 | 第62-64页 |
| ·AFM探针受力分析 | 第64-72页 |
| ·AFM运动控制研究 | 第72-79页 |
| ·针尖受力实时检测 | 第79-81页 |
| ·AFM加工结果输出 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 4 基于AFM的微纳尺度模板制备 | 第85-108页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·工艺方案设计 | 第85-87页 |
| ·加工参数设定与优化 | 第87-88页 |
| ·AFM切削加工 | 第88-98页 |
| ·ICP制作模板 | 第98-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 5 总结与展望 | 第108-111页 |
| ·全文总结 | 第108-110页 |
| ·AFM加工技术展望 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 附录一:攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第121-123页 |
| 附录二:攻读博士学位期间发表的专利目录 | 第123页 |
